BD_2318000-2318999
Патент на изобретение №2318267
РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБАПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ (19) RU (11) 2318267 (13) C2 (51) МПК H01L21/306 (2006.01)G03F7/26 (2006.01) (12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ Статус: по данным на 08.11.2010 – прекратил действие, но Read more…