BD_2162000-2162999
Патент на изобретение №2162117
РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБАПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ (19) RU (11) 2162117 (13) C2 (51) МПК 7 C30B25/02, C30B29/36, C30B25/14, C30B25/08, C30B25/10, C23C16/32, H01L21/205 (12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ Статус: по данным на 27.05.2011 Read more…