Патент на изобретение №2228561

Published by on




РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ



ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА
ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,
ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ
(19) RU (11) 2228561 (13) C2
(51) МПК 7
H01J31/50
(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ

Статус: по данным на 09.03.2011 – действует

(21), (22) Заявка: 2002114062/092002114062/09, 30.05.2002

(24) Дата начала отсчета срока действия патента:

30.05.2002

(43) Дата публикации заявки: 27.11.2003

(45) Опубликовано: 10.05.2004

(56) Список документов, цитированных в отчете о
поиске:
Proceeding of 16-th International congress on High Speed, photography and photonics, vol. 491, Strasburg, 1984.
RU 2100867 С1, 27.12.1997
SU 999859 А1, 27.04.1996.
RU 2009449 С1, 15.09.1994.
CB 2338080 A, 08.12.1999.

Адрес для переписки:

115304, Москва, ул. Луганская, 9, ФГУП НИИИТ

(72) Автор(ы):

Славнов Ю.К.,
Прянишников И.Г.,
Костин А.Б.,
Куликов Ю.В.

(73) Патентообладатель(и):

Федеральное государственное унитарное предприятие “Научно-исследовательский институт импульсной техники”

(54) ВРЕМЯАНАЛИЗИРУЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ИЗОБРАЖЕНИЯ

(57) Реферат:

Изобретение относится к области электровакуумного приборостроения и может быть использовано при создании пико- и субпикосекундных электронно-оптических преобразователей (ЭОП), работающих в режиме сверхскоростной фотографии. Техническим результатом, обеспечиваемым заявляемым изобретением, является увеличение рабочего поля фотокатода за счет снижения пространственных и временных аберраций, т.е. создание широкоформатного ЭОП. Времяанализирующий ЭОП содержит заключенные в вакуумную оболочку и последовательно расположенные в ней плоскую подложку с фотокатодом, ускоряющий электрод, апертурную диафрагму с круглым отверстием в центре, отклоняющую систему и регистрирующую мишень. Снаружи вакуумной оболочки между ускоряющим электродом и отклоняющей системой расположена фокусирующая система в виде осесимметричной бронированной магнитной линзы с немагнитным зазором. Ускоряющий электрод и мишень выполнены в виде сферических сегментов, вершины и центры которых расположены на оси преобразователя таким образом, что отношение расстояния между центром кривизны ускоряющего электрода и средней плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной ускоряющего электрода и средней плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 2:3, отношение расстояния между центром кривизны мишени и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной мишени и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 1:2, а в плоскости немагнитного зазора установлена апертурная диафрагма. 2 ил., 3 табл.

Изобретение относится к области электровакуумного приборостроения, связанного с разработкой и созданием электронно-оптических преобразователей изображения (ЭОП), предназначенных для преобразования и усиления яркости изображений в различных областях спектра от инфракрасного до мягкого рентгеновского. Изобретение может быть использовано при создании современных пико- и субпикосекундных ЭОП, работающих в режиме сверхскоростной фотохронографии, и, в первую очередь, специализированных ЭОП, работающих в качестве первичного детектора в составе пико- и субпикосекундных электронно-оптических камер (ЭОК), применяемых для фотографирования различных быстропротекающих процессов в инфракрасном, видимом, ультрафиолетовом или мягком рентгеновском диапазонах спектра излучения. Развитие техники высокоскоростной фотохронографии наряду с задачей повышения временного разрешения ставит задачу поиска путей повышения информационной емкости изображения, что при сохранении высокого временного и пространственного разрешения означает необходимость увеличения рабочего поля фотокатода, т.е. ставится задача создания широкоформатного ЭОП. Решение этой задачи предлагается и обосновывается в предлагаемом изобретении.

Известен времяаналнзирующий ЭОП с магнитной фокусировкой изображения, предназначенный для работы в режиме сверхскоростной фотохронографии [1]. В качестве фотокатода ЭОП использован призматический выступ, вершина которого служит источником фотоэмиссии, отклоняющая система развертки расположена между фотокатодом и фокусирующей линзой, выполненной в виде бронированного соленоида. Часть магнитопровода соленоида, выполненная в виде мелкоструктурной и прозрачной для электронов сетки, осуществляет магнитную экранировку отклоняющей системы от магнитного поля фокусирующей системы. Регистрирующая мишень (экран) выполнена плоской. Перечисленные конструктивные особенности этого ЭОП порождают его недостатки. Так, эмиссия с призматического выступа вдоль временной оси имеет большую апертуру, чем с аналогичной плоской площадки, что приводит к увеличению пространственных аберраций вдоль временной оси и соответственно к снижению временного разрешения. Размер рабочего поля фотокатода вдоль пространственной оси ограничен пространственными аберрациями. Магнитная экранировка с помощью магнитной мелкоструктурной сетки может оказаться неэффективной из-за насыщения магнитного материала сетки, которая по необходимости должна быть достаточно тонкой. Расположение отклоняющей системы в пространстве между фотокатодом и магнитной фокусирующей системой снижает чувствительность отклоняющей системы за счет действия фокусирующей линзы. Экран в рассматриваемой конструкции является плоским, что создает дополнительные пространственно-временные аберрации. С учетом перечисленных недостатков рассматриваемая конструкция ЭОП заставляет отнести его к классу узкоформатных.

Наиболее близким техническим решением к заявленному является времяанализирующий ЭОП с магнитной фокусировкой [2], схема которого приведена на фиг.1, где 1 – вакуумная оболочка, 2 – входное окно, 3 – фотокатод, чувствительный к излучению наблюдаемого процесса, 4 – ускоряющий электрод, выполненный в виде проводящей мелкоструктурной сетки, 5 – соленоид, 6 – магнитопровод, 7 – немагнитный зазор в магнитопроводе, 8 – отклоняющая система, 9 – регистрирующая мишень.

Как видно из фиг. 1, в прототипе используется фотокатод, расположенный на плоской подложке, плоский ускоряющий электрод, выполненный в виде мелкоструктурной сетки, и люминесцентный экран, расположенный на плоской подложке. В этом ЭОП устранены некоторые недостатки, присущие описанному выше аналогу. Так, вместо призматического выступа катод выполнен в виде узкой полоски на плоской проводящей подложке, что позволяет несколько снизить пространственно-временные аберрации в направлении временной оси. Отклоняющая система расположена в промежутке между фокусирующей линзой и экраном, что позволяет устранить негативное влияние магнитного поля этой линзы на чувствительность отклоняющей системы.

Недостатком прототипа является использование плоского фотокатода, плоского ускоряющего электрода и плоского экрана, что порождает значительные пространственно-временные аберрации, включая кривизну и дисторсию. Большая кривизна изображения приводит к существенному уменьшению пространственного и временного разрешения на краю рабочего поля. Поэтому для сохранения в прототипе высокого пространственного и временного разрешения по всему рабочему полю фотокатода размер рабочего поля фотокатода в рассматриваемом ЭОП вдоль пространственной оси ограничен величиной 0,23 мм, а это означает, что рассматриваемый прототип, как и предыдущий, следует отнести к классу узкоформатных.

Техническим результатом, обеспечиваемым заявляемым изобретением, является увеличение рабочего поля фотокатода времяанализирующего ЭОП за счет снижения пространственных и временных аберраций, что способствует созданию широкоформатного ЭОП. Технический результат достигается тем, что во времяанализирующем электронно-оптическом преобразователе изображения, содержащем заключенные в вакуумную оболочку и последовательно расположенные в ней плоскую подложку с фотокатодом, ускоряющий электрод, отклоняющую систему и мишень, а также фокусирующую систему в виде осесимметричной бронированной магнитной линзы с немагнитным зазором, расположенную снаружи вакуумной оболочки между ускоряющим электродом и отклоняющей системой, причем ось симметрии магнитной линзы совпадает с осью преобразователя, ускоряющий электрод и мишень выполнены в виде сферических сегментов, причем вершины и центры кривизны ускоряющего электрода и мишени расположены на оси преобразователя таким образом, что соотношение расстояния между центром кривизны ускоряющего электрода и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной ускоряющего электрода и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 2:3, соотношение расстояния между центром кривизны мишени и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной мишени и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 1:2, а в плоскости немагнитного зазора магнитной линзы установлена апертурная диафрагма.

Приданием ускоряющему электроду и мишени сферической формы и выбором места расположения их центров кривизны, а также установкой апертурной диафрагмы в плоскости немагнитного зазора удается существенно скорректировать основные аберрации магнитной линзы. Это позволяет более чем на порядок увеличить рабочее поле вдоль пространственной оси ЭОП с сохранением высоких характеристик изображения по всему рабочему полю фотокатода, т.е. в отличие от прототипа, являющегося по сути дела малоформатным ЭОП, удается создать широкоформатный ЭОП.

На фиг. 2 изображена схема предлагаемого времяанализирующего ЭОП.

ЭОП содержит вакуумную оболочку 1, входное окно с нанесенной на него с внутренней стороны проводящей подложкой 2, чувствительный к излучению наблюдаемого процесса фотокатод 3, ускоряющий электрод 4 в виде сферического сегмента, выполненный либо в виде проводящей мелкоструктурной сетки, либо в виде сплошного проводящего электрода, в котором имеется прямоугольное отверстие для пропускания электронного потока в область магнитной линзы, бронированный соленоид 5, магнитопровод 6, немагнитный зазор 7, апертурную диафрагму 8 с круглым отверстием в центре, отклоняющую систему 9, регистрирующую мишень 10.

Ускоряющий электрод 4 выполнен в виде сферического сегмента, центр кривизны которого расположен на оси ЭОП между его вершиной и плоскостью немагнитного зазора 7 магнитной линзы, образованной соленоидом 5 и магнитопроводом 6 и расположенной снаружи вакуумной оболочки 1 между ускоряющим электродом 4 и отклоняющей системой 9. Соотношение расстояния между центром кривизны ускоряющего электрода и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной ускоряющего электрода и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 2:3. В плоскости немагнитного зазора располагается также круглая апертурная диафрагма 8 с отверстием в центре, центр которой расположен на оси ЭОП. Между магнитной линзой и мишенью 10 располагается отклоняющая система 9. Плоскость симметрии отклоняющей системы 9 развернута на угол, равный углу поворота изображения, эта плоскость содержит ось ЭОП и повернутое магнитной линзой изображение пространственной оси ЭОП. За отклоняющей системой развертки изображения 9 установлена регистрирующая электронное изображение мишень 10, например, в виде люминесцентного экрана, расположенного на волоконно-оптической пластине, выполненной в виде сферического сегмента, причем центр кривизны волоконно-оптической пластины расположен на оси ЭОП в промежутке между плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы и вершиной мишени.

Предлагаемый ЭОП с магнитной фокусировкой работает следующим образом. Порождаемое наблюдаемым объектом изменяющееся во времени электромагнитное излучение проникает через прозрачное для этого излучения окно и попадает на фотокатод, чувствительный к излучаемой объектом области спектра. Под влиянием этого излучения из каждой точки фотокатода эмитируются фотоэлектроны, распределение плотности эмиссии которых по фотокатоду пропорционально пространственному распределению плотности электромагнитной энергии, поступающей от рассматриваемого объекта, и представляет собой по сути практически синхронно изменяющееся во времени электронное изображение этого объекта. Далее фотоэлектроны ускоряются в промежутке между фотокатодом и ускоряющим электродом, к которому так же, как в прототипе, приложено полное ускоряющее напряжение. После ускорения электронный поток попадает в магнитное поле линзы, в результате ее действия пучки фокусируются, а электронное изображение разворачивается на некоторый угол, в связи с чем пространственная и временная оси в изображении фотокатода оказываются повернутыми на тот же угол. В результате вдоль пространственной оси изображения формируется одномерное пространственное изображение наблюдаемого объекта, а вдоль временной изображается динамика его изменения во времени. Как показывают расчеты, благодаря специальному расположению ускоряющего электрода, при котором соотношение расстояния между его центром кривизны и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной ускоряющего электрода и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 2:3, электроны после ускорения двигаются в направлении осевой точки плоскости немагнитного зазора и в отличие от прототипа поступают в область действия магнитной фокусирующей линзы на минимальном расстоянии от оси. Поэтому все аберрации положения, влияющие на пространственное и временное разрешение, а также на масштабные пространственно-временные искажения изображения в предлагаемом ЭОП оказываются существенно меньшими, чем в прототипе, где электронные пучки после ускорения двигаются параллельно оптической оси магнитной линзы и поступают в пространство ее действия на большом расстоянии от оси. Именно этим объясняется то, что временное и пространственное разрешение в прототипе по рабочему полю фотокатода вдоль пространственной оси быстро убывает от центра к краю и что не позволяет создать широкоформатный ЭОП с высокими электронно-оптическими характеристиками изображения. В заявленном ЭОП фокусирующее действие магнитной линзы как для приосевых, так и внеосевых пучков электронов отличается незначительно. Поскольку центральные траектории электронов в нем собираются в точке на оси в плоскости немагнитного зазора, установленная в этой плоскости апертурная диафрагма не будет виньетировать изображение, т.е. ограничивать величину рабочего поля фотокатода, но может существенно и в равной степени уменьшить выходную апертуру как центральных, так и периферийных пучков. В результате достигается уменьшение влияния на качество изображения отверстных аберраций, что приводит к дополнительному увеличению пространственного и временного разрешения по всему рабочему полю фотокатода. В прототипе приосевые и внеосевые пучки собираются в разных точках оси, что делает нецелесообразным применение апертурной диафрагмы. В случае применения диафрагмы в прототипе она будет виньетировать изображение и неодинаково диафрагмировать пучки. После прохождения диафрагмы электронные пучки в предлагаемом ЭОП направляются на экран. Как показывают расчеты, острая фокусировка изображения вдоль пространственной оси достигается на сферической поверхности мишени с центром кривизны, расположенным на оси ЭОП таким образом, чтобы соотношение расстояния между центром кривизны мишени и плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной мишени и плоскостью немагнитного зазора составляло бы 1:2. При этом кривизна экрана заметно исправляет временные аберрации, влияющие на временное разрешение и временную задержку на краю рабочего поля фотокатода.

Для сравнения заявленного ЭОП с прототипом было проведено компьютерное моделирование их электронно-оптических систем с использованием пакета прикладных программ Elim-E [3]. Обозначения коэффициентов аберраций соответствуют принятым в работе [4]. Основные исходные данные конструкции прототипа взяты из работы [2].

Вариант заявленной в изобретении конструкции ЭОП и вариант прототипа были практически идентичными за исключением радиусов кривизны мелкоструктурной сетки и экрана. Были взяты следующие параметры. Ускоряющее напряжение на мелкоструктурной сетке полагалось равным 10 кВ, расстояние между фотокатодом и мелкоструктурной сеткой по оси ЭОП 1,6 мм, ширина прямоугольника, ограничивающего фотокатод, 0,01 мм, длина прямоугольника (рабочее поле фотокатода) 5 мм, общая длина ЭОП 268 мм, расстояние от фотокатода до средней плоскости немагнитного зазора магнитной линзы 66 мм, скорость развертки 1,6х1011 мм/с. Параметры фотокатода соответствовали видимому диапазону излучения исследуемого объекта и так же, как в работе [2], угловое распределение фотоэлектронов считалось ламбертовским, а энергетическое – параболическим с максимальной энергией 0,68 эВ. Конструкция и токи возбуждения магнитной линзы были взяты одинаковыми. Для прототипа фотокатод, мелкоструктурная сетка и экран были взяты плоскими. В заявленном ЭОП радиусы кривизны мелкоструктурной сетки и экрана в описанных выше сечениях предполагались равными 22 и 108 мм соответственно. Расчеты характеристик изображения проводились в пределах рабочего поля фотокатода вдоль пространственной оси, равном 10 мм.

В таблице 1 приведены исходные значения основных величин, определяющих качество изображения в ЭОП, в таблице 2 – расчетные значения основных аберраций магнитной линзы и в таблице 3 – основные характеристики качества изображения для заявленного ЭОП и прототипа.

Из результатов компьютерного моделирования электронно-оптической системы заявленного ЭОП нетрудно видеть, что с помощью этого ЭОП при напряжении на ускоряющем электроде относительно фотокатода, равном 10 кВ, ширине щели 10 мкм, при скорости развертки 1,61011 мм/c и пространственном увеличении, равном 2,9, по всему рабочему полю фотокатода размером 10 мм в видимом диапазоне с сурьмяно-цезиевым фотокатодом достигается пространственное разрешение не менее 70 штр/мм, временное разрешение 0,5 пс, дисторсия менее 0,2%, задержка на краю рабочего поля фотокатода практически отсутствует. Аналогичные оценки в области мягкого рентгена с золотым фотокатодом показывают, что в заявленном ЭОП по всему рабочему полю фотокатода достигается пространственное разрешение не менее 20 штр/мм, временное разрешение 3 пс, дисторсия менее 0,2%, задержка менее 0,5 пс. Для сравнения в прототипе ЭОП с плоской подложкой, плоским ускоряющим электродом, плоской мишенью и без апертурной диафрагмы в центре рабочего поля мишени пространственное и временное разрешение остается таким же, как в заявленной конструкции, однако на краю рабочего поля наблюдается резкое ухудшение качества пространственно-временного изображения. Как показывают расчеты, для достижения в прототипе сопоставимых с заявленным ЭОП характеристик качества изображения, особенно в части временного разрешения и временной задержки изображения, рабочее поле фотокатода в прототипе должно быть не более 1 мм, т.е. в 10 раз меньше, чем в заявленном. Поэтому прототип ЭОП следует отнести к узкоформатным. Таким образом, в заявленном ЭОП при сохранении высоких пространственно-временных характеристик, присущих прототипу, рабочее поле фотокатода увеличено по сравнению с прототипом в 10 раз за счет снижения пространственных и временных аберраций, что позволяет отнести его к классу широкоформатных.

Литература

1. Авторское свидетельство SU №1272376 А1, кл. Н 01 J 31/50, 1985.

2. Kinoshita K. et al. Femtosecond streak tube. Proceeding of 16th International congress on High Spead photography and photonics, vol 491. Strasburg, 1984 (прототип).

3. V.P.Ilin, V.A.Kateshov, Yu. V.KnUkov, M.A.Monastyrsky. Emission-Imaging Electron-Optical System Design. – Adv.electronics and electron physics (1990), v.78, Acad.Press.

4. Ю.В. Куликов. Об опыте создания программно-методического обеспечения для расчета эмиссионных электронно-оптических изображающих систем. – Прикладная физика (1996), 3, Москва.

Формула изобретения

Времяанализирующий электронно-оптический преобразователь изображения, содержащий заключенные в вакуумную оболочку и последовательно расположенные в ней плоскую подложку с фотокатодом, ускоряющий электрод, отклоняющую систему и мишень, а также фокусирующую систему в виде осесимметричной бронированной магнитной линзы с немагнитным зазором, расположенную снаружи вакуумной оболочки между ускоряющим электродом и отклоняющей системой, отличающийся тем, что ускоряющий электрод и мишень выполнены в виде сферических сегментов, вершины и центры которых расположены на оси преобразователя таким образом, что отношение расстояния между центром кривизны ускоряющего электрода и средней плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной ускоряющего электрода и средней плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 2:3, отношение расстояния между центром кривизны мишени и средней плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы к расстоянию между вершиной мишени и средней плоскостью немагнитного зазора магнитной линзы составляет 1:2, а в средней плоскости немагнитного зазора магнитной линзы установлена апертурная диафрагма.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2


PC4A Государственная регистрация перехода исключительного права без заключения договора

(73) Патентообладатель(и):

Федеральное государственное унитарное предприятие “Научно-исследовательский институт импульсной техники”

(73) Патентообладатель:

Федеральное государственное унитарное предприятие “Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова”

Дата и номер государственной регистрации перехода исключительного права: 15.09.2010 № РП0001003

Извещение опубликовано: 10.11.2010 БИ: 31/2010


Categories: BD_2228000-2228999