Патент на изобретение №2150172
|
||||||||||||||||||||||||||
(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
(57) Реферат: Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров. Техническим результатом настоящего изобретения является повышение производительности технологического процесса. Способ изготовления кристаллического элемента для высокочастотного кварцевого резонатора, включает предварительное шлифование кристаллических элементов шлифпорошком и промежуточное и окончательное двухстороннее шлифование микропорошками с последовательным уменьшением размеров зерна абразива, отличающийся тем, что предварительное шлифование шлифпорошком осуществляют только с одной стороны, а перед окончательным двухсторонним шлифованием микропорошком производят глубокое химическое травление. Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров. В известном способе [1] реализуется многоэтапная обработка поверхности кварца. Способ включает: ориентировку, механическую обработку, химическую очистку, прокалку и двухэтапное химические травление. Основной недостаток данного способа – продолжительный по времени процесс. В способе [2] применяют механическую обработку кристаллических элементов, затем, после окончательной обработки наносят металлический слой, прижимают пластину металлизированной поверхностью к технологической подложке, нагревают полученную заготовку, после чего шлифуют и полируют поверхность кристаллического элемента до заданной толщины. Недостаток этого способа – трудоемкость и продолжительность техпроцесса. Наиболее близким техническим решением является способ изготовления кристаллических элементов [3] , который реализуется многоэтапной механической обработкой абразивами различного гранулометрического состава, включающий шлифовку кварцевых пластин шлифпорошком, а затем микропорошками. Однако использование данного способа сопряжено с большой трудоемкостью и значительной продолжительностью цикла обработки, что отрицательно влияет на производительность техпроцесса. Задачей заявляемого технического решения является повышение производительности техпроцесса за счет уменьшения его трудоемкости и времени изготовления кристаллического элемента. Поставленная задача решена тем, что в известном способе изготовления кристаллического элемента для высокочастотного кварцевого резонатора, включающем предварительное шлифование шлифпорошком и промежуточное и окончательное двухстороннее шлифование микропорошками с последовательным уменьшением размеров зерна абразива, предварительное шлифование шлифпорошком осуществляют только с одной стороны, а перед окончательным шлифованием микропорошком производят глубокое химическое травление. Способ осуществляют следующим образом, используя, например, нижеприведенные абразивы. После корректировки угла среза кварцевые пластины предварительно выравнивают вручную шлифпорошком 8-Н с одной стороны. Затем производят промежуточную двухстороннюю шлифовку пластин микропорошком М14-В до толщины 1 мм, на шлифовально-доводочном станке, тем самым создавая плоскопараллельность всех пластин. В последующем осуществляют глубокое химическое травление кристаллических элементов в скоростном травителе на основе плавиковой кислоты и бифторида аммония до толщины 0,08 мм. В дальнейшем кварцевые пластины подвергают окончательной двухсторонней шлифовке до толщины 0,05 мм микропорошком М5-В на шлифовально-доводочном станке. Данный способ значительно сокращает время обработки кварцевого кристаллического элемента, что позволяет повысить производительность технологического процесса, а также уменьшить его трудоемкость. Источники информации 1. Авторское свидетельство N 587601, кл. H 03 H 3/02, 1978. 2. Авторское свидетельство N 443457, кл. H 03 H 3/04, 1975. 3. Смагин А. Г. Пьезоэлектрические резонаторы и их применение. – М., 1967. Формула изобретения
MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Дата прекращения действия патента: 29.05.2000
Номер и год публикации бюллетеня: 33-2002
Извещение опубликовано: 27.11.2002
|
||||||||||||||||||||||||||
