Патент на изобретение №2217844

(54) МНОГОСЛОЙНАЯ КОНТАКТНАЯ СИСТЕМА К КРЕМНИЕВОЙ СТРУКТУРЕ С МЕЛКОЗАЛЕГАЮЩИМ P-N ПЕРЕХОДОМ

(57) Реферат:

Изобретение относится к электронной технике, предназначено для изготовления контактных систем к полупроводниковым приборам с мелкозалегающими р-n переходами. Сущность изобретения: многослойная контактная система к кремниевой структуре с мелкозалегающим р-n переходом содержит омический контакт на основе силицидов металлов платиновой группы, барьерный слой из нитрида титана, адгезионный слой титана. На адгезионный слой последовательно нанесены взаимоконтактирующий слой и контактный слой из гальванически осажденного золота. Контактная система отличается тем, что барьерный слой из нитрида титана, синтезированного термоионным способом, имеет состав, в котором соотношение титана и азота составляет 2: 1, и оптимальную толщину, которая удовлетворяет определенному математическому соотношению. Технический результат изобретения заключается в уменьшении объемного электрического сопротивления барьерного слоя и, как следствие, существенном повышении термической и радиационной стойкости приборов с предлагаемой контактной системой. 3 ил.

Таблицы

Формула изобретения

Многослойная контактная система к кремниевой структуре с мелкозалегающим р-n переходом, содержащая омический контакт на основе силицидов металлов платиновой группы, барьерный слой из нитрида титана, адгезионный слой титана, взаимно контактирующий слой и контактный слой гальванически осажденного золота, отличающаяся тем, что барьерный слой из нитрида титана, синтезированный термоионным способом, имеет состав, в котором отношение титана к азоту составляет 2:1, а оптимальная толщина L барьерного слоя определяется соотношением

где – коэффициент теплопроводности барьерного слоя, Вт/мК;

b – постоянная, характеризующая изменение коэффициента теплопроводности от температуры

₀ – коэффициент теплопроводности при минимальных температурах, Вт/мК;

Т₁ – температура поверхности барьерного слоя со стороны р-n перехода, К;

Т₂ – температура наружной поверхности барьерного слоя, К;

Р – тепловая мощность, выделяемая в единице объема, Вт/м³;

– плотность границ зерен в барьерном слое, безразм.;

D – коэффициент диффузии по границам зерен, см²/с;

t – время наработки прибора на отказ, ч;

₀ – концентрация атомов металла на границе барьерного слоя, атом/м³;

Q – количество вещества, накопленного на поверхности раздела металл – барьерный слой, атом/м².

РИСУНКИ

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Дата прекращения действия патента: 23.05.2005

Извещение опубликовано: 27.05.2006 БИ: 15/2006