Патент на изобретение №2210835

Published by on




РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ



ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА
ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,
ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ
(19) RU (11) 2210835 (13) C2
(51) МПК 7
H01L21/16
(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ

Статус: по данным на 28.03.2011 – может прекратить свое действие

(21), (22) Заявка: 2001129256/28, 31.10.2001

(24) Дата начала отсчета срока действия патента:

31.10.2001

(45) Опубликовано: 20.08.2003

(56) Список документов, цитированных в отчете о
поиске:
ЕР 0596488 А1, 11.05.1994. US 4891519 А, 02.01.1990. RU 2172042 C2, 10.08.2000.

Адрес для переписки:

119991, Москва, Ленинский пр-т, 4, МИСиС, отдел защиты интеллектуальной собственности

(71) Заявитель(и):

Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет)

(72) Автор(ы):

Костишин В.Г.,
Медведь В.В.,
Летюк Л.М.

(73) Патентообладатель(и):

Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет)

(54) ОПТИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫХ ПРИМЕСЕЙ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ФЕРРИТАХ-ГРАНАТАХ

(57) Реферат:

Изобретение относится к физике твердого тела, в частности к магнитооптике, оптической спектрофотометрии. В диапазоне длин волн =0,6-1,1 мкм регистрируют спектры оптического отражения и оптического пропускания образцов. На основе этих спектров рассчитывают и строят спектры оптического поглощения. По наличию и высоте пиков на определенных длинах волн на спектрах оптического поглощения с помощью специальных математических формул определяется концентрация туллия или иттербия. Техническим результатом изобретения является возможность определения концентрации редкоземельных примесей в монокристаллических ферритах-гранатах с минимальной концентрацией примесей. 5 ил.

Изобретение относится к физике твердого тела, в частности к магнитооптике, оптической спектрофотометрии, и может быть использовано для оценки концентрации ионов редкоземельных элементов (туллия, иттербия) в монокристаллических ферритах-гранатах, а также при отборе эпитаксиальных пленок ферритов-гранатов для производства высокодобротных приборов магнитооптики.

При выращивании монокристаллов редкоземельных ферритов-гранатов, эпитаксиальных пленок для ЦМД-техники и магнитооптики работа технологов неизбежно упирается в необходимость контроля концентрации редкоземельных ионов. Однако прямые методы измерения концентрации ионов Тm3+ и Yb3+ (рентгеноспектральный микроанализ, электронная ожеспектроскопия, электронная спектроскопия для химического анализа, вторичная ионная масс-спектроскопия) являются дорогостоящими, трудоемкими и в большинстве случаев – разрушающими. В связи с этим, авторами была поставлена задача найти дешевый экспресс-метод определения концентрации редкоземельных примесей (ионов туллия и иттербия) в монокристаллических ферритах-гранатах.

Существуют способы контроля примеси в кристаллах гранатов, в которых пики дополнительного поглощения (центры окраски) связывают с конкретным типом примеси (ростовых дефектов) (см. Н.С. Ковалева и др. Связь образования радиационных центров окраски с ростовыми дефектами в кристаллах ИАГ: Nd. “Квантовая электроника”, 1991, т.8, 11, с. 2435-2438). Однако данные способы применимы только для лазерных кристаллов-гранатов на основе Y3Al5O12 и не могут использоваться для контроля ионов Тm3+ и Yb3+ в монокристаллических ферритах-гранатах.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является “Оптический способ контроля качества монокристаллических ферритов-гранатов” (см. Костишин В.Г., Медведь В.В., Летюк Л.М., Шипко М.Н. Патент РФ на изобретение 2157576. Зарегистрирован в государственном реестре изобретений Российской Федерации 10 октября 2000 г.) Однако данный способ применим для качественного контроля ионов свинца в ферритах-гранатах и не может использоваться для контроля других примесей (в частности ионов туллия и иттербия).

Сущность предлагаемого способа состоит в следующем. При попадании в додекаэдрическую подрешетку граната ионов Тm3+ в его оптическом спектре поглощения появляется интенсивный пик с максимумом при max = 0,685 мкм, а при попадании Yb3+ – пик с максимумом при max = 0,971 мкм.

Было найдено, что концентрация ионов Тm3+ связана логарифмической функцией (фиг.1) с высотой пика (фиг.2), соответствующего иону Тm3+,
CTm = 1,123ln(НTm0) – 3,02;
где Н0 = 1 см-1;
НTm – высота пика, соответствующего Тm3+ с максимумом при max = 0,685 мкм, см-1;
СTm – концентрация Тm в атомах на формальную единицу граната, далее – формульные единицы (ф.е.).

Аналогично для Yb3+ зависимость имеет вид
СYb = 0,604ln(НYb0) – 0,86;
где НYb – высота пика, соответствующего Yb3+ с максимумом при max = 0,971 мкм, см-1;
СYb – концентрация Yb, ф.е.

Эти зависимости позволяют по высоте пика дополнительного поглощения определить концентрацию примеси Тm3+ или Yb3+.

Таким образом, признаками ПРЕДЛАГАЕМОГО способа являются:
1. Регистрируются оптические спектры отражения и пропускания материала.

2. На основе этих спектров рассчитывают и строят спектры оптического поглощения.

3. Для регистрации спектров используется спектральный диапазон = (0,61,1) мкм.

4. Определяется высота пика при max = 0,685 мкм для Тm-содержащих пленок, высота пика при max = 0,971 мкм для Yb-содержащих пленок.

5. По формулам СTm = 1,123ln(НTm0) – 3,02; СYb = 0,604ln(НYb0) – 0,86 определяется концентрация в формульных единицах ионов Тm3+, Yb3+.

На фиг. 1 представлена логарифмическая зависимость между концентрацией ионов Тm3+ и высотой пика, им соответствующего.

На фиг.2 показан способ определения высоты пика.

На фиг. 3 показан спектр поглощения эпитаксиальной монокристаллической пленки (BiTm)3(FeGa)5O12 толщиной 7,74 мкм.

На фиг. 4 показан спектр поглощения эпитаксиальной монокристаллической пленки (YYbBi)3(FeGa)5O12 толщиной 5,57 мкм.

Разработанный способ был реализован следующим образом. Образцами служили эпитаксиальные монокристаллические пленки (BiTm)3(FeGa)5О12 и (YYbBi)3(FeGa)5О12 толщиной h = (413) мкм, выращенные методом жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ) на подложках Gd3Ga5О12 ориентации (111), а также монокристаллические пластины Y0,94Tm1,2Bi0,86Fe5О12 толщиной h=30 мкм и толщиной h = 60 мкм. Спектры пропускания и отражения регистрировались на спектрофотометре “Lambda-9” фирмы “Perkin-Elmer”. Далее рассчитывался спектр поглощения, затем проводился анализ спектрального положения и высоты пиков и расчет концентрации ионов примеси.

Пример 1.

В качестве образца использовалась эпитаксиальная монокристаллическая пленка (BiTm)3(FeGa)5О12 толщиной 7,74 мкм, выращенная методом ЖФЭ из раствора в расплаве на основе РbО-Вi2О32О3. На фиг.3 представлен спектр поглощения пленки в диапазоне (0,61,1) мкм.

Как видно из фигуры, в спектре поглощения наблюдается интенсивный пик с max = 0,685 мкм и высотой НТm = 200 см-1.

По формуле СTm = 1,123ln(НTm0) – 3,02 находим СTm = 2,93 ф.е.

Пример 2.

В качестве образца использовалась эпитаксиальная монокристаллическая пленка (YYbBi)3(FeGa)5О12 толщиной 5,57 мкм, выращенная методом ЖФЭ из раствора в расплаве на основе СаСО3-Вi2О3-V2О5. На фиг.4 представлен спектр поглощения пленки в диапазоне (0,61,1) мкм.

Как видно из фигуры, в спектре поглощения наблюдается интенсивный пик с max = 0,971 мкм и высотой НYb = 25 см-1. По формуле СYb = 0,604ln(Нуb0) – 0,86 находим СYb = 1,08 ф.е.

Пример 3.

В качестве образца использовалась монокристаллическая пластина Y0,94Tm1,2Bi0,86Fe5О12 толщиной h = 60 мкм. На фиг.5 представлен спектр поглощения указанного образца в диапазоне (0,61,1) мкм.

Как видно из фигуры, в спектре поглощения образцов наблюдается интенсивный пик с max = 0,685 мкм и высотой НTm = 42 см-1.

По формуле СTm = 1,123ln(НTm0) – 3,02 находим СTm = 1,123ln(42) – 3,02 = 1,18 ф.е.

Формула изобретения

Оптический способ контроля редкоземельных примесей в монокристаллических ферритах-гранатах, включающий их спектрофотометрию и анализ спектрального положения и высоты пиков, отличающийся тем, что в диапазоне длин волн = (0,61,1) мкм регистрируют спектры оптического отражения и пропускания, рассчитывают спектр оптического поглощения, а концентрацию ионов туллия Тm и иттербия Yb рассчитывают по высоте характерных пиков поглощения:
Тm – по высоте пика с максимумом при = 0,685мкм, используя формулу
СTm = 1,1231n(НTm0) – 3,02,
где СTm – концентрация ионов Тm в формульных единицах;
НTm – высота пика оптического поглощения ионов Тm в см-1, Н0= 1 см-1,
Yb – по высоте пика с максимумом при = 0,971 мкм, используя формулу
CYb = 0,6041n(НYb0) – 0,86,
где СYb – концентрация ионов Yb в формульных единицах;
НYb – высота пика оптического поглощения ионов Yb в см-1, Н0= 1 см-1.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5

Categories: BD_2210000-2210999