Патент на изобретение №2205365
|
||||||||||||||||||||||||||
(54) ИЗМЕРИТЕЛЬ ДЛИНЫ КОНЦЕВЫХ МЕР ДЛИНЫ
(57) Реферат: Прибор относится к устройствам измерения длины плоскопараллельных концевых мер длины. Содержит концевую меру длины, притертую к плоской стеклянной пластине, установленную на предметном столике, оптический блок, выполненный в виде “нуль – индикатора” – лазера, оптически связанного с плоской стеклянной пластиной или концевой мерой длины, цилиндрической линзой и позиционно-чувствительным фотоэлементом, и отсчетного устройства – измерителя перемещений лазерного, отражатель которого связан с предметным столиком и установлен на линии измерения, предметный столик выполнен подвижным в двух перпендикулярных направлениях. Технический результат: повышение производительности процесса измерений. 2 з.п.ф-лы, 1 ил. Изобретение относится к устройствам измерения длины плоскопараллельных концевых мер длины (КМД) и может быть использовано в машиностроении, приборостроении и других отраслях промышленности с реализацией указанного назначения. Известны устройства, измеряющие длину КМД, притертую к плоскопараллельной измерительной пластине (ПИ), оптическим методом поочередно в 4-х длинах волн, где по совпадению дробных интерференционных полос судят об отклонении от предварительно измеренного с погрешностью 0,5 мкм значения длины меры. Известны интерферометры по ГОСТ 8.367-79 (приложение 1 – интерферометр Кестерса; приложение 10 – горизонтальный интерферометр ВНИИМ; приложение 11 – относительный интерферометр ВНИИМ; приложение 12 – двойной контактный интерферометр мод. 272). Из них наиболее близкий аналог – интерферометр Кестерса, который решает ту же задачу измерений длины КМД. Для этого в измерителе длины КМД, содержащем КМД, притертую к ПИ, установленной на предметном столике, оптический блок, предметный столик выполнен подвижным в двух перпендикулярных направлениях, оптический блок выполнен в виде “нуль – индикатора” – источника света – оптического квантового генератора, оптически связанного с плоской стеклянной пластиной или концевой мерой длины, цилиндрической линзой и позиционно-чувствительным фотоэлементом, и отсчетного устройства – измерителя перемещений лазерного, отражатель которого связан с предметным столиком и установлен на линии измерения. Схематическое изображение предлагаемого измерителя представлено на чертеже. Нуль-индикатор состоит из лазера 1, цилиндрической линзы 2 и позиционно-чувствительного фотоэлемента (ПЧФ) 3, оптически связанные с ПИ 4 или притертой к ней КМД 5, установленных на предметном столике 6 с кареткой 7 поперечного перемещения и кареткой 8 вертикального перемещения. Отсчетное устройство состоит из измерителя перемещений лазерного (ИПЛ) 9, отражатель 10 которого связан с предметным столиком 6 таким образом, чтобы его центр совпадал с линией измерения (I-I). Двусторонними стрелками обозначены направления перемещений предметного столика. Луч лазера направлен на ПИ 4 под углом примерно 40o в точку “А”, расположенную на линии измерения (I-I), отражаясь, проходит цилиндрическую линзу и попадает на ПЧФ, который устанавливают в нулевое положение. Устанавливают нулевой отсчет на блоке ИПЛ. Перемещая столик в поперечном и вертикальном направлениях до попадания лазерного луча (его светового пятна) примерно в точку “A1” (середина измерительной поверхности КМД), добиваются получения нулевого положения по ПЧФ. Снимают отсчет по ИПЛ, который будет характеризовать длину КМД. Контроль параллельности ПИ 4 (с КМД 5) во время снятия отсчетов осуществляют при помощи автоколлиматора (условно не показан). Предлагаемый измеритель позволяет повысить производительность процесса измерений относительно известных приборов – интерферометров. Формула изобретения
РИСУНКИ
MM4A – Досрочное прекращение действия патента СССР или патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Дата прекращения действия патента: 26.01.2008
Извещение опубликовано: 20.11.2009 БИ: 32/2009
|
||||||||||||||||||||||||||
