| Название инновационного проекта: |
Научно-инструментальный производственный комплекс на основе источника синхротронного излучения и нанофаба НТК- 4 (проект “СуперФаб”) |
| Область применения: | Различные отрасли народного хозяйства |
| Аннотация: | Проект «СуперФаб» – разработка кластерной нанотехнологической фабрики полного цикла со станцией синхротронного излучения. СуперФаб предназначен для создания изделий наноэлектроники, спинтроники, нанофотоники, наносенсоров, МЭМС и НЭМС, нанофлюидики и пр. СуперФаб представляет собой комплекс кластеров технологических модулей, связанных общей транспортной системой. Предусматривается наличие кластеров групповых и нанолокальных технологий, кластеров сборки и функционального контроля. В состав СуперФаба включена станция синхротронного излучения, позволяющая проводить расширенное тестирование наноструктур на разных стадиях изготовления и осуществлять рентгенолитографические операции, что обеспечивает СуперФабу полный цикл нанотехнологического производства. Научная значимость: СуперФаб предназначен для отработки нанотехнологических процессов и создания новых наноустройств и наносистем. Наличие полного цикла нанотехнологических операций, кластерная структура, развитая транспортная система и широкий набор средств измерений и функционального контроля позволяет значительно снизить стоимость и ускорить время разработки новых наноизделий, поскольку эти изделия могут быть совершенно разнотипными и находиться на разных стадиях разработок и изготовления. Весьма существенно, что использовать СуперФаб могут практически одновременно несколько научных коллективов, занимающихся разной тематикой.Конкурентные преимущества: Продукт абсолютно уникален в России и в мире. Примеры практического применения в отраслях РФ: Предназначен для разработки и мелкосерийного производства сверхмалых электронных и МЭМС устройств для самых разных отраслей народного хозяйства (прежде всего – спецтехника). |
| Объект интеллектуальной собственности: | изобретение |
| Стадия освоения разработки: | Отдельные модули уже производятся мелкими сериями, часть модулей существует в виде прототипов. |
| Название предприятия: | “НТ-МДТ”, ЗАО |
| Статус: | юридическое лицо |
| Адрес: | Россия, 124460, Москва, Зеленоград, Корпус 167 |
| Телефон: | +7 (495) 535-0305, 535-8369, 535-2493 |
| Факс: | +7 (495) 535-6410 |
| E-mail: | bykovav@ntmdt.ru |
| Адрес Web: | www.ntmdt.ru |
| ФИО руководителя предприятия: | Быков Виктор Александрович |
| Регион: | Москва, Зеленоградский округ |
№326 Научно инструментальный производственный комплекс на основе источника синхротронного излучения и нанофаба НТК 4 (проект СуперФаб)
Categories: IN_23