| Название инновационного проекта: |
Нанотехнологический комплекс |
| Область применения: | Производство новых изделий наноэлектроники |
| Аннотация: | Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники. Нанотехнологический комплекс содержит блок загрузки носителей объектов (носителей зондов и носителей образцов) с объектами (зондами и образцами), блок подготовки объектов, камеру измерения, включающую сканирующий зондовый микроскоп, с первой системой координатного перемещения, на которой закреплен первый держатель носителей зондов, носитель образцов, пространственно сопряженный с носителем зондов, и транспортную систему. Комплекс снабжен блоком формирования структур и блоком локального воздействия, при этом камера измерения включает первую систему координатной установки носителя зондов на первом держателе, вторую систему координатного перемещения, на которой закреплен второй держатель со второй системой координатной установки носителей образцов, при этом первая система координатного перемещения сопряжена со второй системой координатного перемещения первой системой координатной привязки зондов и образцов, блок формирования структур содержит модуль формирования структур, а также третий держатель с третьей системой координатной установки носителей объектов, блок локального воздействия содержит модуль локального воздействия, а также четвертый держатель с четвертой системой координатной установки носителей объектов, при этом четвертый держатель установлен на четвертой системе координатного перемещения, сопряженной с модулем локального воздействия третьей системой координатной привязки модуля локального воздействия с объектом. Подобное выполнение расширяет функциональные возможности нанотехнологического комплекса. |
| Объект интеллектуальной собственности: | изобретение |
| Автор/разработчик: | Быков Виктор Александрович |
| Стадия освоения разработки: | серийное производство |
| Охранные документы: | патент РФ № 2308782 от 20.10.2007 |
| Формы сотрудничества: | внедрение новой технологии |
| Название предприятия: | “НТ-МДТ”, ЗАО |
| Статус: | ИП (ПБОЮЛ) |
| Адрес: | 124482, Москва, Зеленоград, корп.317А, а/я 158 |
| Телефон: | +7 (495) 535-0305, 535-8369, 535-2493 |
| Факс: | +7 (495) 535-6410 |
| E-mail: | vbykov@ntmdt.ru |
| Адрес Web: | www.ntmdt.ru |
| ФИО руководителя предприятия: | Быков Виктор Александрович |
| ГРНТИ: | 59.14.29 |
| Версия МПК: | 8 |
| Основные коды МПК: | H01J37/26 |
| Дополнительные коды МПК: | G12B21/00 |
| Регион: | Москва, Зеленоградский округ |
№571 Нанотехнологический комплекс
Categories: IN_11