Патент на изобретение №2373161

(54) КАССЕТА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ СТЕКОЛ

(57) Реферат:

Изобретение относится к квантовой электронике, а точнее, касается оснастки – кассеты для нанесения просветляющих покрытий на стекла малогабаритных размеров прямоугольной формы, используемых в крышках корпусов полупроводниковых излучателей. Технический результат изобретения заключается в расширении технологических возможностей, а именно получении качественных оптических покрытий с обеих сторон малогабаритных стекол прямоугольной формы с заданной площадью запыления. Кассета для напыления стекол включает основание с посадочными ячейками, элементы фиксации и крепления. Посадочная ячейка выполнена многопозиционной в виде паза с возможностью помещения опорного стекла. Ширина опорного стекла равна ширине паза и длине рабочего стекла. Высота паза равна сумме толщины опорного стекла и толщины рабочего стекла. Элементы фиксации и крепления состоят из съемных деталей – двух планок, закрепленных вдоль паза на основании, и двух ограничителей, закрепленных на дне паза, при этом высота ограничителей равна высоте паза. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к квантовой электронике, а точнее, касается оснастки (кассеты) для нанесения просветляющих покрытий на стекла малогабаритных размеров прямоугольной формы, используемых в крышках корпусов полупроводниковых излучателей.

Известна кассета для напыления просветляющих покрытий на стекла круглой формы диаметром 3÷5 мм, используемая в производстве ИЛПИ (чертеж ПС-0004: ПС – 0010-03 – пластина (основание) и ПС-0010-02 – крышка), включающая основание с посадочными ячейками, крышку, элементы крепления. В основании рядами расположены ячейки, соответствующие диаметру рабочего стекла, и сквозные отверстия меньшего диаметра. Разность в диаметрах стекла и сквозного отверстия определяет площадь запыления (напыления) стекла. Высота посадочной ячейки равна толщине стекла. Фиксация стекол в основании осуществляется крышкой (ПС-004), имеющей соосные с основанием аналогичные сквозные отверстия. Основание и крышка соединяются и центрируются тремя винтами, расположенными между посадочными ячейками.

Рассмотренная кассета обладает рядом положительных факторов: во-первых, напыление может быть осуществлено как со стороны основания, так и со стороны крышки; во-вторых, рабочая поверхность стекол не касается металлических поверхностей, что сохраняет чистоту стекла до напыления и не вносит дефекты в нанесенные оптические покрытия.

К недостатку рассмотренной кассеты следует отнести то, что изготовить аналогичную конструкцию с прямоугольными посадочными ячейками технически трудновыполнимо.

Известна кассета, используемая в производстве напыления стекол (СМ-446. Кассета для напыления). Кассета состоит из основания посадочных ячеек с пазами, элементами фиксации и крепления.

Основание кассеты (CM-446.01. Основание) представляет собой прямоугольную металлическую пластину, в которой расположены ячейки с пазами. Размер ячейки соответствует размеру рабочего стекла и ограничивается с двух сторон закрепленными планками. На дне паза, ширина которого значительно меньше ширины ячейки, крепится пружина. Стекла задвигаются в ячейки под фиксированные планки, которые перекрывают верхнюю поверхность стекла не более чем 1 мм. Большая часть нижней поверхности стекла опирается на основание. Пружины поддерживают стекло в области паза и закрепляют его в ячейке. Кассета проста в изготовлении, но для достаточно больших стекол. Применение такой конструкции для малогабаритных стекол затруднительно.

К недостаткам рассмотренной кассеты следует отнести также следующее:

– если использовать кассету для напыления покрытий на стекла с обеих сторон, то при первом напылении одна из сторон (нижняя) загрязняется от соприкосновения с основанием кассеты, а на нее при втором напылении будет осуществляться нанесение покрытия;

– поверхность же стекла, напыленная в первом процессе, при перегрузке может быть повреждена при движении по металлической поверхности основания и пружинами.

В результате этого нет гарантии получения качественных покрытий на стеклах.

Наиболее близким к предложенной кассете по технической сущности и достигаемому результату является кассета для напыления стекол, включающая основание с посадочной ячейкой, на которую установлено опорное стекло, и элементы фиксации и крепления (SU 701971, кл. С03С 17/00, 1979 г.).

К недостатку рассмотренной кассеты следует отнести то, что изготовить аналогичную конструкцию для малогабаритных стекол прямоугольной формы технически трудновыполнимо.

Сущность изобретения в следующем. Задача, на решение которой направлено заявляемое изобретение, заключается в расширении технологических возможностей, а именно: получение качественных оптических покрытий с обеих сторон малогабаритных стекол прямоугольной формы с заданной площадью запыления.

Указанный технический результат при осуществлении изобретения достигается тем, что в известной кассете для напыления стекол, включающей основание с посадочными ячейками, элементы фиксации и крепления, посадочная ячейка выполнена многопозиционной в виде паза с возможностью помещения опорного стекла, причем ширина опорного стекла равна ширине паза и длине рабочего стекла, а высота паза равна сумме толщины опорного стекла и толщины рабочего стекла; кроме того, элементы фиксации и крепления состоят из съемных деталей – двух планок, закрепленных вдоль паза на основании, и двух ограничителей, закрепленных на дне паза, при этом высота ограничителей равна высоте паза.

Сущность изобретения поясняется графическими материалами, описанием и примером конкретного исполнения.

На фиг.1 представлено основание предлагаемой кассеты. Габаритные размеры и форма обусловлены посадочными гнездами в рабочей установке для напыления оптических покрытий УРМЗ. 279. 068.

На фиг.2 представлен общий вид предлагаемой кассеты для напыления с загруженными рабочими стеклами и фиксирующими элементами, планками и ограничителями.

На чертежах приняты следующие обозначения:

1 – основание кассеты;

2 – паз;

3 – опорное стекло;

4 – ограничители;

5 – рабочие стекла;

6 – планки;

h – высота паза;

h₁ – толщина опорного стекла;

h₂ – высота ячейки (для рабочего стекла с толщиной h₂);

L – ширина опорного стекла, ширина паза, длина рабочего стекла;

L₁ – ширина рабочего стекла.

В основании 1 выполнен паз 2, в который помещено опорное стекло 3. На разрезе А-А отражены элементы, формирующие многопозиционную ячейку для загрузки стекол.

Загрузка кассеты для первого напыления: в паз 2 основания 1 устанавливается опорное стекло 3, ставится один ограничитель, загружаются стекла параллельно ограничителю по длине опорного стекла. После этого ставятся фиксирующие планки и второй ограничитель. Планки 6 закрывают часть площади (1 мм) поперек пластины, удерживая их в посадочной ячейке, как это отражено на фиг.2, Б-Б.

В таком виде кассета готова для напыления первой стороны стекол.

Загрузка кассеты для напыления второй стороны стекол.

С кассеты следует снять фиксирующие планки и один ограничитель. Стекла перевернуть напыленной стороной вниз. После этого поставить фиксирующие планки и второй фиксатор. Кассета готова для напыления второй стороны пластин.

Пример.

Кассета опробована для напыления стекол с размерами:

1) 28 мм (L)·8 мм (L₁)·0,8 мм (h₂);

2) 28 мм (L)·8 мм (L₁)·0,6 мм (h₂),

где 28 мм (L) – длина стекла,

8 мм (L₁) – ширина стекла,

0,8 мм (h₂) – толщина стекла в первом случае и

0,6 мм (h₂) – толщина стекла во втором случае.

Ширина паза в предлагаемой кассете равнялась 28 мм, высота паза составляла 2,6 мм (h).

Для стекол с толщиной 0,8 мм (h₂) использовалось опорное стекло шириной 28 мм (L), толщиной 1,8 мм (h₁), т.е. выполнялось следующее условие:

h (2,6 мм)=h₁ (1,8 мм)+h₂ (0,8 мм).

Для стекол толщиной 0,6 мм (h₂) использовалось опорное стекло шириной 28 мм (L) и толщиной 2 мм (h₁), т.е. выполнялось следующее условие:

h (2,6 мм)=h₁ (2 мм)+h₂ (0,6 мм).

Предлагаемая кассета обеспечивает получение качественных оптических покрытий на рабочих стеклах за счет того, что, во-первых, сохраняется чистота рабочих стекол, так как они располагаются на чистой поверхности опорного стекла (опорные стекла легко вынимаются и обрабатываются перед напылением), во-вторых, рабочие стекла легко двигаются по опорному стеклу, при этом исключается внесение дефектов в напыленные на поверхность стекла оптических покрытий; в-третьих, кассета пригодна для напыления тонких малогабаритных стекол.

Формула изобретения

1. Кассета для напыления стекол, включающая основание с посадочными ячейками, элементы фиксации и крепления, отличающаяся тем, что посадочная ячейка выполнена многопозиционной в виде паза с возможностью помещения опорного стекла, причем ширина опорного стекла равна ширине паза и длине рабочего стекла, а высота паза равна сумме толщины опорного стекла и толщины рабочего стекла.

2. Кассета для напыления стекол по п.1, отличающаяся тем, что элементы фиксации и крепления состоят из съемных деталей – двух планок, закрепленных вдоль паза на основании, и двух ограничителей, закрепленных на дне паза, при этом высота ограничителей равна высоте паза.

РИСУНКИ