Патент на изобретение №2369938
|
||||||||||||||||||||||||||
(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗОНДОВ С УГЛЕРОДНЫМИ НАНОТРУБКАМИ
(57) Реферат:
Изобретение относится к области вакуумной техники и технологии получения углеродных наноструктур, таких как углеродные нанонотрубки на кончике зондов, которые применяются в зондовой микроскопии для прецизионного сканирования. Способ получения зондов с углеродными нанотрубками осуществляется путем нанесения углеродных пленок с нанотрубками методом магнетронного распыления в вакууме при постоянном токе 100-140 мА с использованием мишени из углерода с катализатором роста нанотрубок. Заготовки зондов помещают в вакуумную установку. Далее проводится напыление углеродной пленки с нанотрубками в остаточной атмосфере инертного газа. Изобретение позволяет получать зонды с углеродными нанотрубками, расположенными перпендикулярно поверхности зонда, в необходимых количествах, без использования взрывоопасных веществ и сложных установок. 6 ил.
Изобретение относится к области вакуумной техники и технологии получения углеродных наноструктур, таких как углеродные нанотрубки на кончике зонда. Они могут быть использованы в зондовой микроскопии в качестве сканирующего зонда для прецизионного сканирования, заметного улучшения контроля качества образцов и для нанолитографии. Известен способ получения особо острых зондов, основанный на методе полевой эмиссии [1], который заключается в том, что вольфрамовые нановолокна выращивают на кончике кремниевого зонда при воздействии поля эмиссии в высоковакуумной камере, совмещенной с электронным микроскопом. Две заготовки из электрохимически травленых вольфрамовых зондов помещались на два микроманипулятора. Подача рабочего газа – вольфрамового гексарбонила при температуре 35°С и включение постоянного поля эмиссии индуцировали процесс роста вольфрамовых нановолокон на одной из заготовок зондов, выступающей в качестве катода. Длина образующегося нановолокна зависит от длительности воздействия полем. Однако известный метод плохо контролируется и не предполагает образование прочного кончика зонда с малым количеством дефектов. Из известных способов наиболее близким по технической сущности является способ получения углеродных нанотрубок на кончике зонда путем химического осаждения паров [2], принятый за прототип. В этом способе предлагается предварительно электрохимически заточенный вольфрамовый зонд нагревать до температуры 700°С сначала в среде аргона, а потом в среде этилена. Таким образом, вся поверхность зонда покрывается множеством нанотрубок, которые после этого в основном стравливаются пучком электронов в электронном микроскопе. Хотя этот способ гарантирует образование нанотрубки на кончике зонда, однако он плохо контролируется и отличается крайней сложностью и многостадийностью. Технический результат, направленный на снижение многостадийности и воспроизводимости результатов, заключается в напылении нанотрубок непосредственно на кончик зонда. Это достигается тем, что углеродные пленки наносят путем магнетронного распыления в вакууме при постоянном токе 100-140 мА с использованием мишени из углерода с катализатором роста нанотрубок. Магнетронное распыление оптимально для нанесения нанотрубок на кончик зонда, поскольку обеспечивает локальность распыления и роста нанотрубок. Необходимым условием распыления является высокий вакуум, что обеспечивает бездефектность образующихся нанотрубок. При подаче тока менее 100 мА распыление слабое и нанотрубки не образуются, а при подаче тока более 140 мА происходит интенсивное распыление, качество углеродных пленок, и соответственно нанотрубок, падает. Данный способ был реализован с помощью научно-исследовательской вакуумной установки УРМ-3 [3]. На фиг.1 изображена схема экспериментальной установки, состоящей из вакуумной камеры 1, магнетронного узла с мишенью 2, держателя образцов 3 и пластины с зондами 4. В качестве мишени использовался диск из чистого графита для стержней реакторов с металлическими катализаторами Y, Ni (иногда Со, Fe). Площади поверхностей составных частей мишени соотносились как C:Y:Ni=94:5:1. После предварительной откачки в камеру напускался рабочий газ – аргон. В качестве заготовок зондов использовалась платино-иридиевая, вольфрамовая и золото-коваровая проволока. Проволока, разрезанная на части длиной 2-3 см, закреплялась в держателе образцов на расстоянии 3-5 см над мишенью. Эти заготовки зондов помещались в вакуумную установку. Далее проводилось напыление углерода в остаточной атмосфере инертного газа. Электрический режим разряда: постоянный ток питания мишени 100-140 мА, напряжение разряда 150-400 В. Полученные зонды с нанотрубками исследовались на растровом электронном микроскопе (РЭМ), а также проводилось сравнительное тестирование с зондами без нанотрубок на сканирующем туннельном микроскопе (СТМ). Методом РЭМ были исследованы кончики зондов – на большинстве зондов были обнаружены нанотрубки диаметром от 10 нм, расположенные перпендикулярно к поверхности зонда. На фиг.2 представлено РЭМ-изображение кончика платиново-иридиевого зонда с увеличением в 170 раз. При большем увеличении в 30 000 раз (фиг.3) на кончике зонда были обнаружены нанотрубки диаметром ~30 нм. По результатам сравнительного тестирования полученных зондов и зондов без нанотрубок была подтверждена высокая разрешающая способность зондов с нанотрубками вплоть до атомарного разрешения. На фиг.4 представлено СТМ-изображение кристаллической решетки высокоориентированого пиролитического графита, полученное платиново-иридиевым зондом с нанотрубкой. Так же с помощью СТМ-метода была показана пригодность зондов с нанотрубками для проведения нанолитографии (фиг.5а) – диаметр образующихся каналов 20 нм и менее (фиг.5б). На фиг.6 приведены результаты сканирования обычным платино-иридиевым зондом (фиг.6а) и платино-иридиевым зондом с нанотрубкой (фиг.6б) тестового образца из DVD-диска. Хорошо видно, что на фиг.6б прописаны все области с высоким разрешением, поскольку малый диаметр нанотрубки позволяет проникать даже в области между дорожками DVD-диска, а малая величина закругления кончика нанотрубки обеспечивает высокое разрешение в каждой точке сканирования. Следовательно, зонд с нанотрубкой обеспечивает на порядок лучший контроль качества образцов по сравнению с обычными зондами. Таким образом, предлагаемый способ позволяет получать зонды с углеродными нанотрубками диаметром от 10 нм и расположенными перпендикулярно поверхности зонда в необходимых количествах без использования взрывоопасных веществ (углеводородов и т.п.) и сложных установок. Помимо этого получаемые зонды отличаются прочностью, малодефектностью и износостойкостью. Список литературы:
[3] Антоненко С. В., Мальцев С.Н., RU 2218299 С1, 17.07.2002.
Формула изобретения
Способ получения зондов с углеродными нанотрубками, заключающийся в нанесении углеродных пленок с нанотрубками на кончик зонда, отличающийся тем, что углеродные пленки наносят путем магнетронного распыления в вакууме при постоянном токе 100-140 мА с использованием мишени из углерода с катализатором роста нанотрубок.
РИСУНКИ
PD4A – Изменение наименования обладателя патента СССР или патента Российской Федерации на изобретение
(73) Новое наименование патентообладателя:
Адрес для переписки:
Извещение опубликовано: 20.05.2010 БИ: 14/2010
|
||||||||||||||||||||||||||
10 (2004), 3248-3255.
