Патент на изобретение №2303790

Published by on




РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ



ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА
ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,
ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ
(19) RU (11) 2303790 (13) C1
(51) МПК

G01R31/26 (2006.01)

(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ

Статус: по данным на 29.11.2010 – прекратил действие, но может быть восстановлен

(21), (22) Заявка: 2005137770/28, 05.12.2005

(24) Дата начала отсчета срока действия патента:

05.12.2005

(46) Опубликовано: 27.07.2007

(56) Список документов, цитированных в отчете о
поиске:
SU 490047 А, 31.03.1976. SU 421958 А, 30.03.1974. RU 2204143 С1, 10.05.2003. JP 11-40626 А, 12.02.1999. US 6933741 В2, 23.08.2005.

Адрес для переписки:

394026, г.Воронеж, Московский пр-кт, 14, ГОУВПО “ВГТУ”, патентный отдел

(72) Автор(ы):

Горлов Митрофан Иванович (RU),
Козьяков Николай Николаевич (RU),
Жарких Александр Петрович (RU)

(73) Патентообладатель(и):

Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования “Воронежский государственный технический университет” (RU)

(54) СПОСОБ ВЫДЕЛЕНИЯ ИЗ ПАРТИИ ВАРИКАПОВ ГРУППЫ ПРИБОРОВ ПОВЫШЕННОЙ НАДЕЖНОСТИ

(57) Реферат:

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности варикапов, и может быть использовано для отбраковки потенциально ненадежных приборов, а также для выделения приборов повышенной надежности как на этапе производства, так и на этапе применения. Сущность: измерение максимальной емкости варикапов проводится до воздействия электростатического заряда (ЭСР), после воздействия ЭСР и после температурного отжига. Воздействию ЭСР подвергаются приборы напряжением допустимым потенциалом, указанным в технических условиях на данный прибор. По отношению максимальной емкости варикапов после температурного отжига к начальному значению судят об их потенциальной надежности. Технический результат: повышение достоверности. 1 табл.

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых приборов, и может быть использовано для отбраковки потенциально ненадежных приборов, а также для выделения приборов повышенной надежности как на этапе производства, так и на этапе применения.

Известен способ определения потенциально ненадежных полупроводниковых приборов [1], состоящий в том, что после измерения интенсивности шумов пропускают через испытуемый прибор импульс тока, в 1.5-5 раз превышающий по амплитуде предельно допустимое значение, затем измеряют интенсивность шумов и по отношению результатов двух измерений судят о потенциальной ненадежности приборов.

Недостатком метода является подача импульса тока, в 1.5-5 раз превышающего по амплитуде предельно допустимое значение по техническим условиям (ТУ) на прибор, что может вызвать необратимые процессы в структуре приборов, которые могут привести в эксплуатации к преждевременным отказам, например, по дефекту “прокол базы”.

Изобретение направлено на повышение достоверности и расширение функциональных возможностей. Это достигается тем, что измерения максимальной емкости p-n-перехода осуществляют до, после воздействия ЭСР и после температурного отжига, а выделение приборов с повышенной надежностью проводят по критерию М=1, где

где Смакс.нач, Смакс.отж – емкость p-n-перехода варикапа начальная и после термического отжига.

Способ осуществляется следующим образом. Измеряются емкости полупроводниковых приборов: до воздействия электростатического заряда (ЭСР), после воздействия ЭСР и после температурного отжига. Воздействию ЭСР подвергаются приборы напряжением, соответствующим допустимому значению, указанному в ТУ на данный прибор. Воздействие ЭСР может привести к некоторому изменению электрических параметров приборов, в том числе емкости, которые в зависимости от идеальности структуры прибора в той или иной степени отжигаются при температурном воздействии.

Измерение емкости варикапов проводилось с помощью установки для измерения параметров полупроводниковых приборов. Воздействие ЭСР осуществлялось по модели “тела человека”.

Разделение приборов по надежности проводят по критерию М:

где Смакс.нач, Смакс.отж – емкость p-n-перехода начальная и после температурного отжига соответственно.

При этом для приборов повышенно-надежных значение М=1.

Пример осуществления способа:

Варикапы типа KB107 имеют значение емкости Смакс=40 пФ при U=0 В. Варикапы подвергались воздействию ЭСР величиной 1000 В, после чего проводился температурный отжиг в течение 6 ч при температуре 100°С. Значения Смакс до, после ЭСР и после отжига приведены в таблице.

Анализируя таблицу, можно сказать, что ЭСР снижает значение Смакс на величину от 6 до 25%, а значение коэффициента М показывает, что отжиг в течение 6 ч восстанавливает Смакс в пределах от 0.955 до 1.

Полное восстановление параметра Смакс после отжига говорит о повышенной надежности варикапа, поэтому для повышенно-надежных варикапов М=1, т.е. варикап №2 будет иметь повышенную надежность.

Таблица
Значение емкости Смакс варикапов KB107
N п/п Значение Смакс, пФ М
начальное после ЭСР после отжига
1 33 26 32 0.970
2 36 34 36 1
3 44 33 43 0.977
4 45 38 43 0.955
5 43 36 42 0.976

Источники информации

1. Авторское свидетельство СССР № 490047, G01R 31/26.

Формула изобретения

Способ выделения из партии варикапов группы приборов повышенной надежности путем измерения максимальной емкости р-n-перехода, отличающийся тем, что измерение емкости осуществляют до, после воздействия ЭСР и последующего температурного отжига, а выделение приборов с повышенной надежностью проводят по критерию М=1, где

Смакс.нач, Смакс.отж – емкость р-n-перехода варикапа начальная и после термического отжига.


MM4A – Досрочное прекращение действия патента СССР или патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Дата прекращения действия патента: 06.12.2007

Извещение опубликовано: 20.10.2009 БИ: 29/2009


Categories: BD_2303000-2303999