Патент на изобретение №2303790
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
(54) СПОСОБ ВЫДЕЛЕНИЯ ИЗ ПАРТИИ ВАРИКАПОВ ГРУППЫ ПРИБОРОВ ПОВЫШЕННОЙ НАДЕЖНОСТИ
(57) Реферат:
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности варикапов, и может быть использовано для отбраковки потенциально ненадежных приборов, а также для выделения приборов повышенной надежности как на этапе производства, так и на этапе применения. Сущность: измерение максимальной емкости варикапов проводится до воздействия электростатического заряда (ЭСР), после воздействия ЭСР и после температурного отжига. Воздействию ЭСР подвергаются приборы напряжением допустимым потенциалом, указанным в технических условиях на данный прибор. По отношению максимальной емкости варикапов после температурного отжига к начальному значению судят об их потенциальной надежности. Технический результат: повышение достоверности. 1 табл.
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых приборов, и может быть использовано для отбраковки потенциально ненадежных приборов, а также для выделения приборов повышенной надежности как на этапе производства, так и на этапе применения. Известен способ определения потенциально ненадежных полупроводниковых приборов [1], состоящий в том, что после измерения интенсивности шумов пропускают через испытуемый прибор импульс тока, в 1.5-5 раз превышающий по амплитуде предельно допустимое значение, затем измеряют интенсивность шумов и по отношению результатов двух измерений судят о потенциальной ненадежности приборов. Недостатком метода является подача импульса тока, в 1.5-5 раз превышающего по амплитуде предельно допустимое значение по техническим условиям (ТУ) на прибор, что может вызвать необратимые процессы в структуре приборов, которые могут привести в эксплуатации к преждевременным отказам, например, по дефекту “прокол базы”. Изобретение направлено на повышение достоверности и расширение функциональных возможностей. Это достигается тем, что измерения максимальной емкости p-n-перехода осуществляют до, после воздействия ЭСР и после температурного отжига, а выделение приборов с повышенной надежностью проводят по критерию М=1, где где Смакс.нач, Смакс.отж – емкость p-n-перехода варикапа начальная и после термического отжига. Способ осуществляется следующим образом. Измеряются емкости полупроводниковых приборов: до воздействия электростатического заряда (ЭСР), после воздействия ЭСР и после температурного отжига. Воздействию ЭСР подвергаются приборы напряжением, соответствующим допустимому значению, указанному в ТУ на данный прибор. Воздействие ЭСР может привести к некоторому изменению электрических параметров приборов, в том числе емкости, которые в зависимости от идеальности структуры прибора в той или иной степени отжигаются при температурном воздействии. Измерение емкости варикапов проводилось с помощью установки для измерения параметров полупроводниковых приборов. Воздействие ЭСР осуществлялось по модели “тела человека”. Разделение приборов по надежности проводят по критерию М: где Смакс.нач, Смакс.отж – емкость p-n-перехода начальная и после температурного отжига соответственно. При этом для приборов повышенно-надежных значение М=1. Пример осуществления способа: Варикапы типа KB107 имеют значение емкости Смакс=40 пФ при U=0 В. Варикапы подвергались воздействию ЭСР величиной 1000 В, после чего проводился температурный отжиг в течение 6 ч при температуре 100°С. Значения Смакс до, после ЭСР и после отжига приведены в таблице. Анализируя таблицу, можно сказать, что ЭСР снижает значение Смакс на величину от 6 до 25%, а значение коэффициента М показывает, что отжиг в течение 6 ч восстанавливает Смакс в пределах от 0.955 до 1. Полное восстановление параметра Смакс после отжига говорит о повышенной надежности варикапа, поэтому для повышенно-надежных варикапов М=1, т.е. варикап №2 будет иметь повышенную надежность.
Источники информации 1. Авторское свидетельство СССР № 490047, G01R 31/26.
Формула изобретения
Способ выделения из партии варикапов группы приборов повышенной надежности путем измерения максимальной емкости р-n-перехода, отличающийся тем, что измерение емкости осуществляют до, после воздействия ЭСР и последующего температурного отжига, а выделение приборов с повышенной надежностью проводят по критерию М=1, где Смакс.нач, Смакс.отж – емкость р-n-перехода варикапа начальная и после термического отжига.
MM4A – Досрочное прекращение действия патента СССР или патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Дата прекращения действия патента: 06.12.2007
Извещение опубликовано: 20.10.2009 БИ: 29/2009
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||