Патент на изобретение №2155994
|
||||||||||||||||||||||||||
(54) МАТЕРИАЛ ДЛЯ ЗАПОМИНАЮЩЕГО УСТРОЙСТВА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
(57) Реферат: Областью применения изобретения является вычислительная техника. Описывается композиция материалов, обладающая ферромагнитными и пьезоэлектрическими свойствами. В предпочтительном варианте осуществления изобретения композиция материалов содержит первый слой (100) из Pb(1-x-y)CdxFey и второй слой (110) из Cr(1-z-w)ZnzTew, где х, у, z и w являются величинами в пределах 0,38<х<0,042; 0,08<у<0,41; 0,28 Предпосылки к созданию изобретения Вычислительная техника нуждается в запоминающих устройствах, имеющих большую емкость и быстродействие. В современной ЭВМ полупроводниковое запоминающее устройство обычно применяют в качестве быстродействующего основного запоминающего устройства, а магнитные диски используют для внешнего запоминающего устройства с большим объемом памяти. Для разработки полупроводниковых запоминающих устройств использовали быстродействующее основное запоминающее устройство на магнитных сердечниках. Запоминающее устройство на магнитных сердечниках содержит матрицу из кольцеобразных ферромагнитных сердечников. Каждая ячейка памяти запоминающего устройства на магнитных сердечниках включает в себя ферромагнитный сердечник с двумя или большим числом шин, проходящих через центр сердечника, и считывающую катушку, установленную вокруг сердечника. Когда к шине, проходящей через сердечник, подводится ток I, создается магнитное поле с напряженностью H, которая является функцией тока I. Магнитное поле, создаваемое током I вызывает постоянную намагниченность сердечника. Намагниченность измеряется магнитной индукцией B. Зависимость между магнитной индукцией B и напряженностью поля H /т.е. график зависимости B от H/ известна как кривая намагничивания или как петля магнитного гистерезиса по индукции. В запоминающем устройстве на магнитных сердечниках кривая намагничивания – по существу является квадратной. Магнитная индукция B в сердечнике имеет два состояния, Br и -Br, которые соответствуют противоположным направлениям магнитного поля. Таким образом, каждый сердечник может хранить бит двоичных данных, ассоциируя одно состояние с “1” и другое состояние с “0”, например, +Br может быть ассоциировано с двоичной “1” и -Br с двоичным “0”. Двоичные данные записывают в ячейке памяти сердечника посредством подачи соответствующих токов к шине. Если полный ток, проходящий через сердечник, больше критического тока Ic, то магнитная индукция сердечника изменяется с -Br на +Br. Подобным же образом, если ток меньше -IC, то магнитная индукция переключается с +Br на -Br. В матрице магнитных сердечников переключение происходит тогда, когда совпадают полярности токов на двух или большем числе шин. Таким образом, если магнитная индукция данного сердечника первоначально составляет -Br, которая соответствует двоичному “0”, то для изменения индукции на +Br, т.е. на запоминание двоичной “1”, проводят ток I > IC/2 к каждой из двух шин с тем, чтобы полный ток, проходящий через шину, был больше +IC. Данные, хранимые в сердечнике, отыскивают путем считывания напряжения на катушке, наведенного переключением между двумя вышеописанными магнитными состояниями. Полярность наведенного напряжения показывает магнитное состояние сердечника перед переключением. Хотя вышеописанное запоминающее устройство на магнитных сердечниках является энергонезависимым запоминающим устройством с произвольным доступом, такое запоминающее устройство является большим, потребляет значительное количество энергии, работает с малым быстродействием и не может быть изготовлено с высокой плотностью элементов в накопителе. Для решения этих проблем были разработаны запоминающие устройства на тонких магнитных пленках. Запоминающее устройство на тонких магнитных пленках состоит из полоски тонкой ферромагнитной пленки, двух или большего числа шин, образованных на пленке для запоминания данных, и катушки вокруг пленки для поиска данных. В запоминающем устройстве на тонких пленках магнитный момент М пленки отображает хранимую информацию. Магнитный момент М ориентирован, главным образом, в плоскости пленки и имеет две раздельные ориентации или состояния, а именно, М и -М, которые обозначают двоичные “1” и “0”. Для запоминания бита двоичных данных подают токи к шинам, образованным на тонкой пленке. Эти токи индуцируют магнитное поле, которое достаточно для изменения направления магнитного момента М. Хранимую информацию отыскивают путем подачи токов к шинам, образованным на тонкой пленке, и измерения наведенного напряжения в катушке. Как и в запоминающем устройстве на магнитных сердечниках, токи обычно выбирают такими, чтобы одиночный ток имел недостаточную амплитуду для изменения на обратное направления магнитного момента пленки, так что для запоминания данных необходимы, по меньшей мере, два тока совпадения. Запоминающие устройства на тонких магнитных пленках связаны со значительными недостатками. Во-первых, устройства на тонких пленках имеют структуру с открытым магнитным потоком, и, следовательно, петля магнитного гистерезиса по индукции теряет четкость вследствие эффекта саморазмагничивания. С целью уменьшения этого эффекта пленку обычно изготавливают в виде прямоугольника, длина которого намного больше его ширины. Так как напряжение, наведенное в катушке вокруг пленки, пропорционально площади поперечного сечения пленки, то уменьшение ширины пленки также снижает наведенное напряжение. В результате шум легко влияет на сигнал считывания. Во-вторых, в существующих магнитных пленках магнитный момент имеет предпочтительное направление в плоскости. Таким образом, устройство усложняется необходимостью подачи токов различной амплитуды для запоминания и поиска данных при выбранных ориентациях. Кроме того, устройства на тонких пленках не являются достаточно небольшими для того, чтобы можно было достигнуть высоких плотностей элементов в накопителе. По сравнению с запоминающими устройствами на магнитных сердечниках и тонких пленках полупроводниковое запоминающее устройство более быстродействующее, потребляет меньше энергии и может иметь более высокие плотности элементов в накопителе. К числу типичных полупроводниковых запоминающих устройств относятся динамическое запоминающее устройство с произвольной выборкой /динамическое ЗУПВ/, статическое запоминающее устройство с произвольной выборкой /статическое ЗУПВ/ и постоянное запоминающее устройство /ПЗУ/. Динамическое ЗУПВ отличается сравнительно большим быстродействием, высокой плотностью элементов в накопителе, низким потреблением энергии, удобочитаемостью и удобозаписываемостью. Однако как динамическое ЗУПВ, так и статическое ЗУПВ являются энергозависимыми, т.е. они теряют хранимую информацию при отключении энергии. Кроме того, динамическое ЗУПВ нуждается в постоянной регенерации, что вызывает необходимость в сложной схеме. Несмотря на то, что статическое ЗУПВ не нуждается в регенерации, оно имеет более высокое энергопотребление и меньшую плотность элементов в накопителе, чем динамическое ЗУПВ. ПЗУ не является энергозависимым, но информацию, хранимую в ПЗУ, невозможно обновлять, т.е. данные не могут быть легко записаны в ПЗУ. В обычном запоминающем устройстве на магнитных дисках диск покрыт ферромагнитным материалом, имеющим квадратную петлю магнитного гистерезиса по индукции. Считывающее устройство с магнитной головкой используется для считывания и записи информации на диск во время вращения диска мимо головки. Диск разделен на кольцевые дорожки. Каждая дорожка дополнительно разделена на небольшие участки, в которых магнитный момент имеет два состояния, обозначающие двоичные величины. Внешнее магнитное поле, наведенное головкой для считывания и записи, изменяет магнитный момент каждого небольшого участка, с тем чтобы хранить двоичную величину в этом участке. Таким образом, для записи данных магнитная головка намагничивает примыкающий небольшой участок материала вращающегося диска. Хранимые данные отыскиваются в виде напряжения, наведенного в головке магнитным моментом небольшого участка при его движении мимо головки. Запоминающие устройства на магнитных дисках могут хранить большой объем данных, например 500 мегабайт или более. Однако запоминающие устройства на магнитных дисках не являются произвольно доступными, действуют с медленной скоростью ввиду необходимости в механическом движении и нуждаются в сложных механических и электронных узлах. Понятно, что ни одна из вышеописанных видов памяти не обладает всеми особенностями, которые желательны в запоминающем устройстве. Таким образом, в настоящее время существует потребность в разработке энергонезависимого, быстродействующего, произвольно доступного, статического и обновляемого запоминающего устройства с большой емкостью. В известном патенте США N 5390142 озаглавленном “Материал запоминающего устройства и способ его изготовления”, описываются новая композиция материалов и энергонезависимое, быстродействующее и произвольно доступное запоминающее устройство с большой емкостью, изготовленное на основе этой композиции материалов. Конкретнее, в предпочтительном варианте осуществления изобретения композиция материалов, описанная в этой основной заявке, содержит последовательно образованные слои Pb0,8 Cd0,10 Si0,10; Se0,90 S0,10 и Fe0,76 Cr0,24. Кроме того, эти слои содержат один или большее число следующих элементов: Bi, Ag, O и N. Эта композиция материалов проявляет ферромагнитные, пьезоэлектрические и электрооптические свойства. Запоминающее устройство, описанное в основной заявке, содержит две группы параллельных адресных шин, расположенные перпендикулярно на противоположных сторонах плоскостной кремниевой подложки. Вышеописанные слои композиции материалов расположены на обеих сторонах подложки над адресными шинами таким образом, что слои FeC являются самыми наружными, при этом каждый слой FeC соединен с электродом. В этом устройстве каждая ячейка памяти определяется каждой точкой пересечения адресных шин на противоположных сторонах подложки. Как правило, в этом запоминающем устройстве каждая адресная шина имеет приблизительно ширину 2 мкм и толщину 1 мкм, а расстояние между соседними шинами равно приблизительно 9 мкм. Таким образом, каждая ячейка памяти занимает приблизительно квадрат со стороной 11 мкм. Каждая ячейка такого запоминающего устройства способна хранить два независимых бита информации. Следовательно, плотность элементов в накопителе запоминающего устройства, описанного в известном патенте США обычно составляет около 1,65 мегабит на один квадратный сантиметр. Задачей этого изобретения является применение новой композиции материалов для изготовления запоминающего устройства с плотностью элементов в накопителе выше, чем это обеспечивает запоминающее устройство, описанное в известном патенте. Краткое содержание изобретения Согласно настоящему изобретению предлагается новая композиция материалов, которая проявляет ферромагнитные и пьезоэлектрические свойства и может быть использована в качестве материала для запоминающего устройства. Это изобретение также относится к энергонезависимому, произвольно доступному запоминающему устройству, изготовленному на основании изобретенной композиции материалов. Также описывается способ запоминания и поиска двух независимых бит информации в одиночной ячейке памяти по настоящему изобретению. Композиция материалов по настоящему изобретению содержит два слоя материала. Первый слой включает в себя элементы Pb, Cd и Fe. Соотношение между Pb, Cd и Fe составляет (1-x-y):x:y, где 0 Эти и другие задачи, особенности и преимущества изобретения более полно изложены в прилагаемом подробном описании, в котором: фиг. 1 – поперечное сечение предпочтительного варианта композиции материалов по настоящему изобретению; фиг. 2 – кривая намагничивания /петля магнитного гистерезиса по индукции/ обычного ферромагнитного материала; фиг. 3 – по существу квадратная петля магнитного гистерезиса по индукции композиции материалов по настоящему изобретению; фиг. 4 /a/ – /h/ иллюстрирует процесс образования пьезоэлектрического напряжения в композиции материалов; фиг. 5 /a/ и /b/ – поперечное сечение и вид сверху предпочтительного варианта выполнения запоминающего устройства по этому изобретению; фиг. 6 – вид сверху адресных шин, образованных на подложке; фиг. 7 /a/ и /b/ – поперечное сечение пластины до и после полировки; фиг. 8 /a/ и /b/ – графики зависимости между формами кривой напряжения и амплитудой тока для электрохимического процесса; фиг. 9 /a/ и /b/ – выборка бит информации в ячейке памяти; фиг. 10 /a/ и /b/ – запоминание первого бита информации; фиг. 11 /a/ и /b/ – поиск первого бита информации; фиг. 12 /a/ и /b/ – запоминание второго бита информации; фиг. 13 – импульсы тока, используемые для поиска второго бита информации, и фиг. 14 символически обобщает запоминание и поиск информации из запоминающего устройства. Подробное описание Настоящее устройство относится к новой композиции материалов, имеющей ферромагнитные и пьезоэлектрические свойства, и к произвольно доступному, энергонезависимому запоминающему устройству, в котором используется новая композиция материалов. Запоминающее устройство по этому изобретению также способно хранить два независимых бита информации в каждой ячейке памяти подобным же образом, как и в запоминающем устройстве в основной заявке. В соответствии с изобретением композиция материалов содержит два слоя материала. Первый слой включает в себя Pb, Cd и Fe. Весовое соотношение между Pb, Cd и Fe составляет (1-x-y):x:y, где 0 достаточной для переключения В0 на -В0. Подобным образом переключение с магнитного состояния -В0 на +В0 также вызывает импульс пьезоэлектрического напряжения. Как показано на фиг. 4 /d/, для переключения между манитными состояниями требуется ток, который возбуждает поле с амплитудой больше, чем Hc. Однако ток, возбуждающий поле с меньшей амплитудой, вызывает принятие B величины, указанной точкой “с” на фиг. 4 /d/. В этой точке магнитное состояние является неустойчивым. В таком случае магнитная индукция B стремится колебаться между величинами В0 /точка “b”/ и Bc /точка “с”/. Амплитуда V2 этого импульса пьезоэлектрического напряжения меньше, чем амплитуда импульса, образованного в результате переключения с +В0 на -В0. На фиг. 4 /h/ показан импульс тока I, который вызывает принятие B величины Bc. Импульс пьезоэлектрического напряжения, образованный в ответ на этот ток, показан в нижней части фигуры. Затушеванный участок обозначает колебание между двумя состояниями /Вc и +В0/, как это наблюдалось бы на осциллоскопе. Как описывается в дальнейшем, пьезоэлектрическое напряжение, образованное в ответ на ток, который возмущает, но не переключает магнитные состояния, может быть применено для считывания информации, хранимой магнитным способом. На фиг. 5 /a/ и /b/ показаны поперечное сечение /не в масштабе/ и вид сверху предпочтительного варианта выполнения части запоминающего устройства 290 по настоящему изобретению. Запоминающее устройство содержит кремниевую плоскостную подложку 500, первые адресные шины 510, образованные на одной поверхности подложки, и вторые адресные шины 520, перпендикулярные первым шинам и образованные на противоположной поверхности подложки. Первая 530 и вторая 540 композиции материалов по настоящему изобретению расположены на противоположных сторонах подложки над адресными шинами. Электроды 550, 560 соединены с композициями материалов соответственно 530, 540. Отметим, что в композициях материалов 530 и 540 часть, расположенная между адресными шинами, содержит как слой 100 из PbCdFe, так и слой 110 из CrZnFe. Однако, над адресными шинами присутствует только слой 100 из CrZnTe. Первые и вторые адресные шины представляют собой серебряные полоски шириной приблизительно 1 мкм и толщиной приблизительно 1 мкм. Расстояние между соседними адресными шинами равно приблизительно 4,75 мкм. Каждая композиция материалов 530 и 540 содержит первый слой и второй слой по настоящему изобретению, описанному выше. Первый и второй слои композиций 530 и 540 последовательно образуют на кремниевой подложке, при этом два вторых слоя являются самыми наружными слоями по обеим сторонах подложки. Каждый слой предпочтительно имеет толщину приблизительно 0,7 мкм, так что толщина каждого сочетания материалов 530 и 540 составляет приблизительно 1,4 мкм. Подложка имеет толщину приблизительно 140 мкм, а электроды представляют собой слои серебра толщиной около 1 мкм, образованные на вторых слоях композиций 530 и 540. В запоминающем устройстве по настоящему изобретению место пересечения и граничащие с ним участки первых и вторых адресных шин, образованных на противоположных сторонах подложки, составляют одну ячейку запоминающего устройства. Как и в запоминающем устройстве, описанном в известном патенте США, каждая ячейка памяти запоминающего устройства по этому изобретению также способна хранить два независимых бита двоичной информации. Плотность хранения информации в запоминающем устройстве по этому изобретению, обусловленная размерами адресных шин и расстоянием между ними, составляет приблизительно восемь мегабит в микросхеме размером 1,2 см х 1,2 см. Далее описывается изготовление комбинации материалов и запоминающего устройства по настоящему изобретению. Процесс изготовления предпочтительно проводится в условиях чистой комнаты класса 100. Изготовление запоминающего устройства начинают с создания первых и вторых адресных шин на подложке. Вначале на противоположные поверхности кремниевой плоскостной подложки толщиной приблизительно 150 мкм и диаметром 7,62 см осаждают слои серебра толщиной приблизительно 1 мкм. При желании для образования адресных шин вместо серебра могут быть использованы другие материалы, имеющие небольшое электрическое удельное сопротивление, как например золото, алюминий или платину. Осаждение слоя серебра осуществляют обычным способом, как например термическим испарением в вакууме, электронно-лучевым напылением или распылением. Затем осажденные слои серебра подвергают формированию рисунка методом фотолитографии и травлению для образования ряда металлических полосок, имеющих каждая ширину приблизительно 1 мкм, при этом полоски на одной стороне подложки перпендикулярны полоскам на противоположной стороне, так что полоски на обеих сторонах подложки образуют перекрещивающуюся структуру. На фиг. 6 изображен вид подложки сверху после этой стадии, на котором полоски образованы в центральной квадратной части круглой кремниевой подложки 600, имеющей диаметр приблизительно 7,62 см. После этой стадии слои серебра снаружи квадрата с полосками предпочитается оставлять нетравлеными, с тем, чтобы соединять концы всех полосок в этой периферийной части пластины. Для удобства термин “пластина” в дальнейшем используется для обозначения подложки вместе с различными структурами, наращенными на подложку при различных стадиях процесса изготовления. Следующей стадией является осаждение тонкого слоя серы /S/ на обе стороны пластины с адресными шинами, образованными на ее двух поверхностях. Серу осаждают, подвергая подложку действию паров серы в изолированной камере. Камера имеет воздухонепроницаемую перегородку, разделяющую камеру на верхнюю и нижнюю части. Перед осаждением серы пластину помещают в верхнюю часть камеры, а необходимое количество серы – в нижнюю часть камеры. Затем серу нагревают до 450-500oC для образования паров серы в нижней части камеры. После этого удаляют перегородку и вводят пары серы в верхнюю камеру. Затем пластину подвергают действию паров серы в течение около одной минуты. В результате на каждой поверхности пластины образуется слой серы. Отметим, что точная толщина слоя серы, образованного на пластине, не имеет важного значения, поскольку количество серы достаточно для насыщения слоев, осаждаемых позже. Вслед за осаждением серы последовательно осаждают слои Pb0,87Cd0,04Fe0,09 и Cr0,3Zn0,4Te0,3 на обе стороны пластины Перед осаждением приготавливают источник осаждаемого материала, с тем чтобы он содержал надлежащее количество компонентов каждого слоя в соответствии с вышеуказанными соотношениями. Конкретно, для приготовления источника осаждаемого материала вначале смешивают надлежащие количества порошка каждого необходимого элемента для образования смеси. Типичный размер частиц в порошках каждого элемента составляет около 2 мкм. После смешивания прессуют и спекают смесь для получения необходимых формы и размеров. Например, для осаждения слоя из Pb0,87Cd0,04Fe0,09 порошки Pb, Cd и Fe смешивают в соотношении 87:4:9. После того, как порошки Pb, Cd и Fe оказываются хорошо смешанными, смесь прессуют в форме для формования кубика размером 1,5 х 1,5 х 1,5 см. Обычное усилие, применяемое для формования кубика, составляет от 1,5 до 2,0 тонн. При снятии давления кубик остается в форме, где его нагревают до температуры 450 – 500oC, используя СВЧ-источник. Температура в 450 – 500oC достигается примерно за одну-две секунды. После этого прекращают нагревание и оставляют кубик в форме для охлаждения до комнатной температуры в условиях комнатной температуры. В предпочтительном варианте осуществления изобретения применяют одно и то же устройство для прессования смеси порошков в форме и для ее нагрева до вышеуказанной температуры. В технике известно такое устройство, которое объединяет в себе прессование и нагрев. Аналогичным образом формируют кубик для осаждения слоя из Cr0,3 Zn0,4Te0,3. Для уменьшения размера зерен материалов в кубиках затем примерно на три часа погружают в жидкий кислород кубик для слоя из Pb0,87Cd0,04Fe0,09 и в жидкий азот – кубик для слоя из Cr0,3Zn0,4Te0,3. После этого кубики извлекают из жидкого азота или жидкого кислорода и помещают в условия комнатной температуры для нагрева до комнатной температуры. В дальнейшем каждый кубик используют для осаждения соответствующего слоя. Эти кубики называют источниками осаждаемого материала для соответствующего слоя. Затем на обе стороны подложки последовательно осаждают слои из Pb0,87Cd0,04Fe0,09 и Cr0,3Zn0,4Te0,3 Осаждение осуществляют с использованием общеизвестных способов. Например, в предпочтительном варианте осуществления изобретения используют обычный способ плазменного напыления. Напыление проводят в вакуумной камере с использованием газа аргона. В вакуумной камере источник осаждаемого материала помещают на некотором расстоянии над центром пластины. Во время осаждения каждого слоя не контролируют температуру пластины, однако, по оценке, температура изменяется приблизительно между 90 и 220oC. Как описывалось ранее, перед осаждением слоев Pb0,87Cd0,04Fe0,09 и Cr0,3Zn0,4Te0,3 пластину покрывают тонким слоем серы. Во время осаждения слоев Pb0,87Cd0,04Fe0,09 и Cr0,3Zn0,4Te0,3 сера диффундирует в осажденные материалы и реагирует с ними. В результате после осаждения слоя как Pb0,87Cd0,04Fe0,09 так и Cr0,3Zn0,4Te0,3 оказываются насыщенными серой с образованием PbS и FeS в первом слое и ZnS во втором слое. Концентрация серы в обоих слоях оценивается в 4 вес.% по сравнению с около 96% Pb, Cd и Fe, объединенных в первом слое, и 96% Cr, Zn и Te, объединенных во втором слое. Во время осаждения в камере используют измерительный преобразователь для определения толщины осаждения слоев. Как указывалось, каждый слой Pb0,87Cd0,04Fe0,09 и Cr0,3Zn0,4Te0,3 должен иметь толщину приблизительно 0,7 мкм образования двух структур толщиной каждая приблизительно 1,4 мкм на противоположных сторонах пластины, у которой самыми наружными слоями являются два слоя Cr0,3Zn0,4Te0,3. На фиг. 7 /a/ показано поперечное сечение пластины после этой стадии. Так как серебряные адресные шины имеют толщину 1 мкм, общая толщина материалов над поверхностями кремниевой подложки составляет 2,4 мкм в местах, имеющих серебряные адресные шины, и 1,4 мкм в местах между серебряными адресными шинами. Затем получающуюся в результате структуру полируют с обеих сторон для образования гладких и плоскостных поверхностей, так что общая толщина материалов, осажденных на обеих сторонах пластины, составляет приблизительно 1,4 мкм. Как показано на фиг. 7 /b/, после полировки осажденные материалы между адресными шинами содержат в себе слои как Pb0,87Cd0,04Fe0,09 так и Cr0,3Zn0,4Te0,3 и сохраняют толщину приблизительно 1,4 мкм. Осажденные материалы над адресной шиной имеют толщину, уменьшенную до 0,4 мкм, и состоят из слоя Pb0,87Cd0,04Fe0,09 После этого к слоям добавляют Bi и O электрохимическим способом, при котором используют нагретую воду, содержащую Bi2O3. Точнее, воду высокой чистоты вначале нагревают до приблизительно 97oC в сосуде из нержавеющей стали, имеющем на дне перемешивающее устройство непрерывного действия. Затем в нагретую воду добавляют порошок Bi2O3. Масса порошка Bi2O3 предпочтительно составляет около 4-6%, а масса воды – около 94-96%. Перед электрохимическим процессом адресные шины на обеих сторонах подложки следует подсоединить к одному электроду. Напоминаем, что в предпочтительном варианте осуществления изобретения адресные шины вытравливают таким образом, чтобы шины на каждой стороне были соединены по периметру пластины. Подложку затем погружают в воду, содержащую порошок Bi2O3. Воду, содержащую порошок Bi2O3, поддерживают при температуре 97oC и непрерывно перемешивают. Затем между сосудом и электродом, соединяющим все адресные линии, подают напряжение с определенными характеристиками, описанными ниже. Под влиянием приложенного напряжения Bi и O диффундируют в осажденные слои. В результате Bi и O внедряются в осажденные материалы. Вышеописанный электрохимический процесс занимает двадцать восемь дней, в течение которых напряжение подают следующим образом. В первые сорок пять часов к ванне подают импульсы высокого напряжения, показанные на фиг. 8 /a/. Форма приложенного напряжения, показанная на фиг. 8 /a/, содержит ряд импульсов напряжения, имеющих амплитуды в две тысячи вольт и переменные полярности. Каждый импульс имеет форму треугольника и продолжительность около одной секунды. Интервалы времени между центрами соседних импульсов составляют около шести секунд. После первых сорока пяти часов и до конца процесса к подложкам прилагают электрический потенциал в шестьдесят вольт. Во время этого процесса сосуд из нержавеющей стали поддерживают при электрическом потенциале Земли, а потенциал, приложенный к пластине, чередуют между положительными и отрицательными напряжениями в шестьдесят вольт. В течение всего процесса жидкость в сосуде поддерживают при температуре 97oC и непрерывно перемешивают. Непрерывно контролируют амплитуду электрического тока в жидкости. На фиг. 8 /b/ показано изменение силы тока I /в амперах/ в воде в течение всех двадцати восьми дней проведения процесса с 262 см пластинами, которые обрабатывали противоточно в ванне с электродами. На фиг. 8 /b/ дни отложены по горизонтальной оси как “t”, а сила тока отложена по вертикальной оси как “I”. В конце двадцативосьмидневного срока, когда сила тока, проходящего через жидкость, составляет около 1,5 ампер, отсоединяют электрод от подложек и удаляют их из ванны. В этот момент слои оказываются насыщенными O при введении достаточного количества B в слоистую структуру. Отметим, что в различных вариантах осуществления изобретения можно также использовать способ ионной имплантации для введения этих элементов в слоистую структуру. В дальнейшем для образования электродов 550 и 560, показанных на фиг. 5 /a/ и /b/, на обе поверхности пластины наносят слои серебра толщиной приблизительно 1 мкм. Таким образом, получают структуру, показанную на фиг. 5. Пластину затем разрезают на квадратные микросхемы размером 1,2 см х 1,2 см. Каждая поверхность микросхемы содержит две тысячи сорок восемь адресных шин. Выше обсуждались размеры и интервал между адресными шинами. Так как каждое пересечение двух адресных шин на противоположных поверхностях микросхемы образует ячейку запоминающего устройства, то в каждой из таких микросхем существует приблизительно четыре миллиона таких ячеек. Поскольку в каждой ячейке запоминающего устройства можно хранить два независимых бита информации, то, следовательно, каждая микросхема размером 1,2 см х 1,2 см способна хранить приблизительно восемь мегабит информации. Таким образом, по завершении этого технологического процесса изготавливают новую двухмерную матрицу элементов памяти, в которой участок вблизи каждого пересечения перпендикулярных адресных шин 510 и 520 является отдельной ячейкой памяти. Ниже подробно описываются запоминание и поиск двоичных данных в каждой ячейке запоминающего устройства. Как показано на фиг. 5 /a/ и 5 /b/, группа металлических полосок на нижней поверхности кремниевой подложки образует первую группу адресных шин 520 /именуются как шины “X”/, а вторая группа металлических полосок на верхней поверхности подложки образует вторую группу адресных шин 510 /именуются как шины “Y”/. Когда два электрических тока Ii и Ij одновременно подают соответственно к данной шине Xi шин X и шине Yj шин Y, выбирается ячейка памяти /i, j/ на пересечении Xi и Yj. Правильно выбирая величины и полярности токов Ii и Ij, можно запоминать информацию или отыскивать ее из ячейки памяти /i, j/. Таким образом, матрица элементов памяти, содержащая ячейки памяти по настоящему изобретению, является произвольно доступной. Способ запоминания информации в ячейке будет понятен из фиг. 9 /a/, 9 /b/, 10 /a/, 10 /b/, 11 /a/, 11 /b/, 12 /a/, 12 /b/, 13 и 14. На фиг. 9/a/ и /b/ показаны виды сверху одиночной ячейки запоминающего устройства. Как показано на фиг. 9 /a/, перпендикулярные адресные шины 925, 945 разделяют ячейку на четыре четверти 970, 975, 980 и 985. Как обсуждается ниже, первый бит информации запоминается магнитным способом в четвертях 970 и 980, а второй бит информации запоминается магнитным способом в четвертях 975 и 985. Для простоты четверти 970 и 980, где запоминается первый бит информации, в совокупности именуются как носитель “a”, а четверти 975 и 985, где запоминается второй бит, в совокупности именуются как носитель “b”. Для запоминания бита информации в одном из носителей ячейки памяти к первой и второй адресным шинам 925 и 945 подают соответственно два электрических тока, имеющих определенные амплитуды и полярности. Из одного из носителей информацию отыскивают, подавая два электрических тока к адресным шинам и измеряя пьезоэлектрическое напряжение между верхним и нижним электродами. Ток, поданный к первой адресной шине, обозначен как Ii, а ток, поданный к второй адресной шине, – как Ij. Направления токов Ii и Ij указаны стрелками на адресных шинах. В предпочтительном варианте осуществления изобретения токи Ii и Ij имеют одинаковую амплитуду Io. Каждый ток создает индуцированное круговое магнитное поле вокруг соответствующей адресной шины, как это показано стрелками 990 и 995. На фиг. 9 /a/ и /b/ показаны направления магнитных полей Bi и Bj, индуцированных токами Ii и Ij в каждой четверти Точка // означает, что поле находится в “верхнем” направлении, а крестик /x/ означает, что поле находится в противоположном или “нижнем” направлении. Как показано на фиг. 9 /a/, в четвертях 985 и 975 (носитель “b”) Bi и Bj имеют противоположные направления и, таким образом, подавляют друг друга. По этой причине токи, показанные на фиг. 9 /a/, не влияют на информацию, хранимую в носителе “b”. С другой стороны, в четвертях 970 и 980 /носитель “a”/ поля Bi и Bj индуцированы в одинаковом направлении. Следовательно, эти поля усиливают друг друга и, таким образом, могут изменять хранимую информацию. Таким образом, токи с одинаковыми полярностями и амплитудами, поданные к адресным шинам, влияют только на магнитное состояние носителя “a” и тем самым выбирают этот носитель. Подобным же образом два отрицательных импульса также выбирают и могут запоминать информацию в носителе “а”. Отметим также, что амплитуды токов, которые выбирают носитель “a”, не должны быть равными, пока их совместное влияние не изменит магнитное состояние в носителе “b”. На фиг. 9 /b/ показан процесс выбора носителя “b” Два тока, имеющих противоположные полярности, Ii = +Io и Ij = -Io подводят соответственно к первой и второй адресным шинам. Как показано вышеописанными условными обозначениями в виде точки и крестика, в носителе “a” поля, индуцированные этими токами, подавляют друг друга, не влияя на магнитное состояние. Однако в носителе “b” поля, индуцированные этими токами, усиливают друг друга, так что выбирается носитель “b”. Подобным же образом два тока Ii = -Io и Ij = +Io, поданные к двум адресным шинам, также выбирают носитель “b”. Таким образом, два тока с одинаковой амплитудой, но с противоположными полярностями выбирают носитель “b” для запоминания или поиска информации. Для запоминания информации объединяемые амплитуды двух токов должны также быть достаточно большими, чтобы переключать намагниченность носителя между магнитными состояниями B0 и -B0. Кроме того, объединяемые амплитуды двух токов должны быть достаточно небольшими, с тем чтобы одиночный ток сам не смог бы изменить магнитное состояние носителя. Это необходимо для обеспечения того, чтобы двумя сигналами, поданными на две адресные шины, в матрице элементов памяти выбирался бы только один носитель. Для поиска хранимой информации без разрушения объединяемые амплитуды двух токов должны быть довольно небольшими, чтобы индуцированное магнитное поле было бы недостаточно для изменения магнитного состояния носителя. Однако объединенные амплитуды должны быть также достаточными для нарушения магнитного состояния носителя, с тем чтобы создавать пьезоэлектрическое напряжение по структуре устройства. Как обсуждалось выше, направление этого пьезоэлектрического напряжения означает двоичные данные, хранимые в носителе. Для иллюстрации на фиг. 10 /a/ изображен процесс записи двоичной “1” в носитель “a” с использованием синхронных импульсов тока на две адресные шины. Первоначально две ячейки матрицы предполагают находящимися в состоянии “0”, которое соответствует магнитной индукции -B0. Для записи двоичной “1” два синхронизированных импульса тока Ii = 5,0 мкА и Ij = 5,0 мкА подают соответственно к двум адресным шинам. Это индуцирует магнитное поле H, которое намагничивает композиции материалов ячейки памяти. На фиг. 10 /a/ магнитная индукция Ba этих слоев изображена в виде замкнутой петли со стрелкой. Для структуры на фиг. 5, имеющей вышеописанные размеры, амплитуда критического тока Ic, которая необходимо для индуцирования критической напряженности поля Hc, требующейся для переключения между двумя дискретными состояниями, составляет приблизительно 8,0 мкА. В ячейке, где совпадают два импульса, два тока по +5,0 мкА создают поле H, которое было бы индуцировано подачей тока в 10,0 мкА. Так как этот ток больше, чем Ic, то магнитная индукция становится B0, с тем чтобы запомнить двоичную “I”. Как объяснялось ранее, после подачи импульсов магнитная индукция в ячейке Ba остается равной B0 без необходимости в дополнительной регенерации или мощности, так что двоичная “I” удерживается в носителе “a”. Как показано на фиг. 10 /b/, для запоминания двоичного “0” в носителе “a” два синхронизированных импульса тока Ii = -5,0 мкА и Ij = -5,0 мкА подают соответственно к адресным шинам. Так как сумма этих токов равна -10,0 мкА, которая меньше, чем Ic, импульсы тока переключают магнитное состояние с +B0 на -B0. Переключение между +B0 и -B0 создает импульс пьезоэлектрического напряжения между первым и вторым электродами после задержки t со времени подачи импульсов тока. Пьезоэлектрический импульс является положительным при переключении с +B0 на -B0 и отрицательным при переключении с -B0 на +B0. Если магнитное состояние не изменяется, то не создается никакого пьезоэлектрического импульса. Следовательно, созданные импульсы пьезоэлектрического напряжения можно использовать для проверки того, что в память введен бит двоичных данных. Для поиска без разрушения информации, хранимой в носителе “a” ячейки, к адресным шинам подают два синхронизированных импульса тока Ii = 3,33 мкА и Ij = 3,33 мкА. Так как критический ток Ic = – 8,0 мкА, сумма этих токов, равная 6,66 мкА, не может вызвать переключение магнитных состояний с +B0 на -B0. Однако этот ток является достаточным для возмущения магнитного состояния без полярного переключения. Как показано на фиг. 11 /a/, при допущении о хранении двоичной “1” в носителе поданные импульсы тока изменяют B от величины, соответствующей, например, точке “a” на кривой намагничивания, до величины, соответствующей точке “b” на этой кривой. Вследствие ранее обсуждавшихся свойств ячейки это изменение в магнитной индукции создает положительное пьезоэлектрическое напряжение, приблизительно равное +10 мкВ, что указывает на хранение “1” в носителе. Если в носителе “a” хранится “0”, то поданные импульсы тока будут изменять Ba от величины, соответствующей точке “c”, до величины, соответствующей точке “d” на кривой. Однако в этом случае магнитная индукция носителя “a” остается при Ba = -B0, так что не создается никакого пьезоэлектрического напряжения, что указывает на хранение “0”. Информация, хранимая в ячейке памяти, не изменяется во время процесса считывания, потому что I меньше, чем Ic. Этот процесс поиска данных без разрушения показан во временном интервале на фиг. 11 /b/. Задержка t между импульсом пьезоэлектрического напряжения и подводимыми синхронизированными импульсами тока теоретически оценивается равной менее 1,0 нс. Эта задержка, измеренная для вышеописанной микросхемы, составляет около 1-2 нс. Запоминание и поиск данных в носителе “b” осуществляются сходным образом. Как показано на фиг. 12 /a/, для запоминания “I” в носителе “b” к адресным шинам подают два синхронизированных импульса тока Ij = -5,0 мкА и Ij = +5,0 мкА. Как обсуждалось выше, такие синхронизированные импульсы тока не влияют на носитель “a”. В момент, когда импульсы совпадают, индуцируется поле, которое равнозначно полю, индуцированному током 0,1 мкА. Так эта величина больше чем Ic = 8,0 мкА, то в носителе “b” запоминается “I”. Как показано на фиг. 12 /b/, импульсы тока Ii = +5,0 мкА и Ij = -5,0 мкА подают для запоминания “0” в носителе “b”. Переключение с “1” на “0” в носителе “b” создает импульс пьезоэлектрического напряжения между электродами при задержки времени t, переключение с “0” на “1” также создает импульс пьезоэлектрического напряжения. Если состояние, не изменяется, то не создается никакого пьезоэлектрического напряжения. Данные, хранимые в носителе “b”, отыскивают без разрушения способом, сходным с обсуждавшимся в связи с носителем “a”. Как показано на фиг. 13, для поиска без разрушения данных, хранимых в носителе “b”, подают два синхронизированных импульса тока Ii = 3,33 мкА и Ij = -3,33 мкА. Суммированные величины этих импульсов являются недостаточно большими для переключения магнитного состояния в носителе “b”. Если хранился бы “0”, то импульсы тока не изменили бы магнитную индукцию Bb носителя “b”, при этом не возникало бы никакого пьезоэлектрического напряжения между электродами. Если в носителе “b” хранилась бы “1”, то поданные импульсы тока возмущали бы магнитное состояние Bb = B0, но не изменяли бы его, создавая импульс положительного пьезоэлектрического напряжения между электродами после задержки t. Таким образом, для носителя “b” отсутствие импульса пьезоэлектрического напряжения означает хранение “0”, а положительное пьезоэлектрическое напряжение означает хранение “1”. В вышеприведенных абзацах описывался способ поиска данных без разрушения из носителей “a” и “b”. Альтернативно информацию из носителей можно также отыскивать с разрушением. Напомним, что изменение магнитного состояния носителя создает пьезоэлектрическое напряжение между двумя электродами. Это пьезоэлектрическое напряжение идентифицирует информацию, хранимую в носителе. Например, для поиска данных с разрушением из носителя “a” к двум адресным шинам соответственно подают два синхронизированных импульса тока Ii = -5,0 мкА. Эти импульсы записывают “0” в носителе “a”. Если в носителе “a” хранился “0”, то эти импульсы тока не изменяли бы магнитное состояние носителя “a” и, следовательно, между электродами не обнаруживалось бы никакого пьезоэлектрического напряжения. Однако, если в носителе “a” хранилась “1”, то импульсы тока будут изменять магнитное состояние носителя из состояния, соответствующего “1”, до состояния, соответствующего “0”, тем самым создавая пьезоэлектрическое напряжение между электродами. Отметим, что в процессе такого поиска может измениться хранимая информация. Поэтому после поиска с разрушением обычно применяют процесс восстановления для перезаписи хранимой информации обратно в носитель. На фиг. 14 символически обобщены вышеописанные способы запоминания данных и их поиска из носителей “a” и “b” запоминающего устройства. Отметим, что на этой фигуре формы сигналов показаны символически и не изображают действительные сигналы. Для поиска информации без разрушения из носителя “a” используют два синхронизированных тока Ii =3,33 мкА и Ij = 3,33 мкА. Подобным же образом для поиска данных из носителя “b” можно использовать два синхронизированных тока Ii = -3,33 мкА и Ij =3,33 мкА. Можно также применить способ считывания данных с разрушением. Например, можно подавать два синхронизированных импульса тока Ii = 5,0 мкА и Ij = 5,0 мкА, которые записывают “1” в носитель “a”, а пьезоэлектрическое напряжение, возникшее в ответ на эти импульсы, идентифицировало бы ранее накопленные данные, тем самым обеспечивая поиск данных с разрушением из носителя “a”. Другим свойством памяти по этому изобретению является то, что достаточное напряжение, приложенное между двумя электродами, предотвращает хранение информации в этой памяти. Это свойство может быть использовано для избирательного хранения в памяти, когда в одном и том же запоминающем устройстве используется несколько параллельно действующих запоминающих микросхем. Напряжения, достаточные для предотвращения хранения информации в памяти по этому изобретению, составляют приблизительно 200 мкВ. Когда к электродам прилагают это напряжение, подача токов к адресным шинам не изменяет хранимую информацию. Одним из преимуществ запоминающего устройства по настоящему изобретению является его небольшое энергопотребление по сравнению с известными энергонезависимыми магнитными запоминающими устройствами. Так как запоминающая среда, примененная в этом устройстве, весьма чувствительна к магнитному полю, задаваемому возбуждающими токами, то можно очень быстро запоминать двоичные величины при сравнительно небольших возбуждающих токах – около 5,0 мкА на каждую шину. Следовательно, потребление энергии для запоминания и поиска данных – небольшие. Отметим также, что поиск информации посредством пьезоэлектрического напряжения, создаваемого между электродами, существенно быстрее, чем создание наведенного электромагнитного напряжения, как это делалось в известных магнитных запоминающих устройствах. Задержка между импульсами тока и соответствующим пьезоэлектрическим напряжением обычно находится в пределах менее наносекунд. Переключение между “1” и “0” обычно происходит за несколько наносекунд. Таким образом, описано запоминающее устройство, которое является произвольно доступным и энергонезависимым и действует в статическом режиме. Это запоминающее устройство отличается большим быстродействием, низким энергопотреблением и хранением информации при большой плотности записи. Нижеследующую формулу изобретения следует истолковывать как охватывающую все эквивалентные структуры и способы. Таким образом, изобретение не следует ограничивать вышеизложенным примерным описанием, а только нижеследующей формулой изобретения. Формула изобретения
РИСУНКИ
MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Дата прекращения действия патента: 30.10.2003
Извещение опубликовано: 20.10.2005 БИ: 29/2005
|
||||||||||||||||||||||||||