Патент на изобретение №2249633
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ХРОМОКАРБИДНЫХ ПОКРЫТИЙ
(57) Реферат:
Изобретение относится к нанесению покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений. Может быть использовано для получения защитных покрытий на основе хрома на деталях из конструкционных и низколегированных сталей. Предложен способ получения хромокарбидных покрытий. Подложку размещают в реакторе и нагревают до 430-450°С. Испаритель нагревают до 320-340°С. Проводят осаждение покрытия разложением металлоорганического соединения “Бархос” в потоке инертного газа при скорости потока 0,010-0,013 л/мин. Давление в реакторе составляет 1,33×102 Па. Техническим результатом является повышение адгезии. 1 табл.
Изобретение относится к способам нанесения покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений (МОС) на нагретых поверхностях и может быть использовано для получения защитных покрытий на основе хрома на деталях из конструкционных, низколегированных сталей, что делает возможным их работу в агрессивных средах. Наиболее близким решением является способ нанесения покрытий на основе хрома, включающий размещения подложки в реакторе, нагрев подложки и осаждение покрытия путем разложения металлоорганического соединения “Бархос” в потоке инертного газа (а. с. СССР SU 1453950 А1, опубликованное 30.06.1994) Недостатком способа является невозможность получения покрытий с высокой адгезией на различных материалах с толщиной покрытия от 0,15 до 7 мкм без добавления в исходное МОС других химических соединений. Техническим результатом является получение покрытий с требуемыми свойствами в потоке инертного газа без добавления химических соединений. Поставленная задача достигается тем, что в способе получения хромокарбидных покрытий, включающем размещение подложки в реакторе, ее нагрев и осаждение покрытия путем разложения металлоорганического соединения “Бархос” в потоке инертного газа, осуществляют нагрев подложки до температуры 430-450°С и испарителя до температуры 320-340°С, устанавливают скорость потока инертного газа 0,010-0,013 л/мин, а процесс проводят при давлении в реакторе 1,33×102 Па. Способ осуществляется следующим образом. Подготовленную подложку помещают в реактор и герметично закрывают. Реактор продувают аргоном для исключения кислорода воздуха из объема реактора, присутствие которого окисляет подложку. При достижении температуры нагрева подложки 430-450°С и испарителя 320-340°С устанавливают скорость подачи газа от 0,010 до 0,013 л/мин и подают определенное количество МОС “Бархос” в испаритель, при этом давление в реакторе составляет 1,33×102 Па. Покрытие, полученное предлагаемым способом, характеризуется горизонтально-слоистой структурой, высокой адгезии и требует меньших затрат на проведение процесса осаждения. Повышение температуры нагрева подложки выше 450°С приводит к тому, что в структуре покрытия возрастают внутренние напряжения, приводящие к возможности отслаивания покрытия. Уменьшение температуры нагрева подложки ниже 430°С приводит к образованию однородных осадков с большей шероховатостью, снижающих износостойкость покрытия. Увеличение скорости подачи инертного газа приводит к образованию на поверхности подложки пироуглерода, ухудшающего полученное покрытие. Объясняется это тем, что пары МОС “Бархос” не успевают прореагировать в области температурного поля подложки и поступают дальше в объем реактора, где и происходит их разложение. Уменьшение скорости подачи газа менее 0,010 л/мин с образованием пироуглерода на поверхности подложки объясняется тем, что прореагировавшие продукты реакции не успевают удаляться из температурного поля подложки и оседают на поверхности. Повышение температуры испарителя выше 340°С приводит к начальному разложению МОС “Бархос” в зоне испарителя с образованием твердой фазы. Уменьшение температуры испарителя ниже 320°С приводит к увеличению времени процесса осаждения. Результаты реализации предложенного способа получения хромокарбидных покрытий приведены в таблице 1.
Формула изобретения
Способ получения хромокарбидных покрытий, включающий размещение подложки в реакторе, ее нагрев и осаждение покрытия путем разложения металлоорганического соединения “Бархос” в потоке инертного газа, отличающийся тем, что осуществляют нагрев подложки до температуры 430-450°С и испарителя до температуры 320-340°С, устанавливают скорость потока инертного газа 0,010-0,013 л/мин, а процесс проводят при давлении в реакторе 1,33·10 Па.
MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Дата прекращения действия патента: 06.08.2005
Извещение опубликовано: 27.01.2007 БИ: 03/2007
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
