Патент на изобретение №2334261

РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБАПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ,ПАТЕНТАМ И ТОВАРНЫМ ЗНАКАМ (19) RU (11) 2334261 (13) C2 (51) МПК G03F7/09 (2006.01)H01J37/317 (2006.01)G03F7/20 (2006.01) (12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ Статус: по данным на 08.10.2010 – действует Read more…